Aktorik und Sensorik im Zusammenspiel
Die Ergänzung von Aktorik durch Sensorik ermöglicht die hochgenaue Fertigung von optoelektronischen Baugruppen. Die Kombination von Positionierung, Messung und Optimierung ist wesentlich für die stabile Fertigung von hochkomplexen Baugruppen.
[mehr]
Kontaminationsfreier Transport im Vakuum
Das Handling im Vakuum ist oft eine wenig beachtete, aber dennoch heikle Aufgabe. Um Substrate ins Vakuum einzuschleusen und durch Gate-Ventile zu mehreren Prozessstationen zu bringen, steht jetzt ein planares Vakuumtransportsystem zur Verfügung. Seit der Formulierung des Mooreschen Gesetzes im Jahre 1965 hat sich die Zahl der Transistoren eines…[mehr]
Große ›Bühne‹ für die Wafer-Inspektion
Die Wafer-Inspektion verlangt von den Positioniersystemen eine sehr hohe Dynamik und Präzision. Eine Multi-Achs-Plattform stellt sich diesen Anforderungen und fungiert gleichzeitig als Demonstrator für weitere Applikationen.
[mehr]
Antriebskraft mit Wankel-Mut
Auf der Kongressmesse Actuator in Bremen wurde ein neuer piezoelektrischer Rotationsmotor vorgestellt. Mithilfe des Deformationswellen-Prinzips können bei geringem Energiebedarf kleinste Schrittweiten realisiert werden.
[mehr]
Präzises Positionieren und schnelles Integrieren
Die Vernetzung von Maschinen, Geräten und Sensoren dringt in immer mehr Industriebereiche vor und erfasst auch die Positioniertechnik. Selbst komplexe Achssysteme lassen sich damit komfortabel konfigurieren und steuern.
[mehr]
Schweben in sechs Freiheitsgraden
Aufgrund von Unebenheiten oder dem mechanischen Spiel der Führungen stößt das Nanopositionieren oft an seine Grenzen. Mit einem System, dessen magnetisch gelagerter Tisch frei schwebt, lassen sich sogar sechs Freiheitsgrade beherrschen. Vorgestellt wird das System auf der Kongressmesse Actuator in Bremen.
[mehr]
Komplexe Mikropositionierung individuell gelöst
Um den steigenden Anforderungen an die Mikromontage gerecht zu werden, sind innovative Ansätze nötig. Die richtige Auswahl der Komponenten sowie ein durchdachtes SYSTEMDESIGN unter Berücksichtigung applikationsrelevanter Faktoren sind dabei der Schlüssel zum Erfolg.
[mehr]