Starke Führung für die Miniaturisierung
Um miniaturisierte Positioniersysteme in kundenspezifischen Ausführungen industriell und hochgenau herstellen zu können, bedarf es ausgeklügelter Fertigungsstrategien. Dass sich filigrane Miniaturrolltische sogar mit Käfigzwangssteuerung ausstatten lassen, macht sie fit für hochdynamische Anwendungen.
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Gekonnt gekoppelt
Wenn für die Datenübertragung optische, photonische und elektronische Module mit Fasern verbunden werden müssen, kommt der präzisen Ausrichtung eine Schlüsselrolle zu, um eine hohe und zuverlässige Lichtübertragung zwischen den Komponenten zu erreichen.
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Kleine Entfernung, große Herausforderung
Extrem kurze Distanzen, etwa bei der automatischen Inspektion, bedeuten hohe Anforderungen für Fokusversteller. Ausgestattet mit Federparallelogramm, einem Exzenterantrieb mit Schrittmotor und einem induktiven Linearmesssystem, lässt sich die Aufgabe bewältigen. Kamerasysteme, die in der Industrie zur automatischen Inspektion und…[mehr]
Aktorik und Sensorik im Zusammenspiel
Die Ergänzung von Aktorik durch Sensorik ermöglicht die hochgenaue Fertigung von optoelektronischen Baugruppen. Die Kombination von Positionierung, Messung und Optimierung ist wesentlich für die stabile Fertigung von hochkomplexen Baugruppen.
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Kontaminationsfreier Transport im Vakuum
Das Handling im Vakuum ist oft eine wenig beachtete, aber dennoch heikle Aufgabe. Um Substrate ins Vakuum einzuschleusen und durch Gate-Ventile zu mehreren Prozessstationen zu bringen, steht jetzt ein planares Vakuumtransportsystem zur Verfügung. Seit der Formulierung des Mooreschen Gesetzes im Jahre 1965 hat sich die Zahl der Transistoren eines…[mehr]
Der ultimative Messtisch
Ein neuer Kreuztisch sorgt für eine lastunabhängige Genauigkeit von ±1 µm und ermöglicht so den Bau kompakter Tischmessgeräte, die neben der Kontur und Oberfläche auch die Geometrie von Teilen vermessen können.
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Große ›Bühne‹ für die Wafer-Inspektion
Die Wafer-Inspektion verlangt von den Positioniersystemen eine sehr hohe Dynamik und Präzision. Eine Multi-Achs-Plattform stellt sich diesen Anforderungen und fungiert gleichzeitig als Demonstrator für weitere Applikationen.
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