11.05.2012 |
Mikrostrukturtechnik |
Mikrooptische Replikation mit ›Step and Repeat‹
Für die UV-Replikation mikrooptischer Komponenten werden arrayhafte Replikationsmaster durch die wiederholte Abformung eines ultrapräzisionsbearbeiteten Einzellinsenstempels erstellt.[mehr]
09.01.2012 |
Mikrostrukturtechnik |
Borosilikatschichten für die Mikrosystemtechnik
Mithilfe des ›Lithoglas‹-Verfahrens lassen sich hermetisch dichte Glasmikrostrukturen präzise auf unterschiedlichste Oberflächenmaterialien aufbringen. Die Glasschichten bilden damit eine äußerst zuverlässige Versiegelung im Wafer-Level-Packaging von Halbleiterbauelementen.[mehr]