Reinraumtechnik mit Maß und Ziel

In den optischen Technologien geht es nicht zwingend um den Einsatz von Reinräumen in der Fertigung, das Wort ›Reinraumtechnik‹ umfasst vielmehr eine ganze Reihe von Produkten und Dienstleistungen. Dennoch wird der klassische Reinraum einer reinen Produkt- oder Prozessumgebung oftmals vorgezogen, ohne die eigenen Prozesse im Zusammenhang mit der kompletten Prozesskette im Vorfeld zu betrachten. Häufig sind es aber nur einige wenige Prozesse, die einer erhöhten Reinheit bedürfen. Alle Prozesse in einen Reinraum zu verbannen, stellt in Bezug auf die Investitions- und Betriebskosten nie die günstigste Variante dar.

Technische Anforderungen an die Luftreinheit 


Die Luftreinheit für eine optische beziehungsweise eine Laseranwendung spielt nicht nur bei der Anzahl von Partikeln in der Luft beziehungsweise auf den Oberflächen eine entscheidende Rolle. Auch die Zusammensetzung der Partikel (Material) sowie die Reinheit der Luft in Bezug auf molekulare Kontaminationen (AMC – Airborne Molecular Contamination) sind in die Analyse mit einzubeziehen.

Bei den Aspekten Elektrostatik und EMV ist zu beachten, dass eine große Anzahl prozessspezifischer Bauteile sowie Maschinen- und Gerätekomponenten elektrostatisch ableitfähig sein sollten, um den Einfluss durch Entladungen oder elektromagnetische Beeinflussungen zu reduzieren. Für die zu schaffende Reinheitslösung sind entsprechend ausgelegte Komponenten auszuwählen. Die eventuell notwendigen Laserschutzmaßnahmen sind entsprechend der Laserklasse zu realisieren. Hier kurz ein Wort zu Laserschutzfolien als Raumabtrennung: Laserschutzfolien bieten keinen 100-prozentigen Schutz vor der Laserstrahlung, da nicht gewährleistet ist, dass diese Folien Laserbereiche zu ihrer Umgebung lückenlos abtrennen (Bild 1). Handelt es sich außerdem um einen Laserbereich, der einem Sauberkeitsregime unterliegt, sind diese Folien auch regelmäßig zu reinigen. Ein gutes Reinigungsergebnis ist dabei jedoch schwierig zu erreichen, da die flexiblen Folien dem Reinigungstuch leicht ausweichen.

Alternativen zum Reinraum 


Für einen F&E-Bereich sollten mehrere, miteinander verbundene optische Tische mit einer Einhausung (Minienvironment) ausgestattet werden (Bild 2). Dabei sollten folgende Parameter realisiert werden:

• Reinheitsklasse der Luft: ISO 6
• Keine Verbindung zum optischen Tisch (Schwingungsentkopplung)
• Klappbare Luftleitschürzen aus ableitfähigem Einscheibensicherheitsglas für einen ungehinderten Zugang zu allen Tischbereichen, keine Folien
• Ventilatorentechnik in den Lüfter-Filter-Modulen in Gleichspannungsausführung (EMV)
• Beleuchtung ohne EMV-Beeinflussung

Zunächst ging es um die Auswahl der notwendigen Anzahl von Lüfter-Filter-Modulen unter der Berücksichtigung der vorhandenen Kontaminationsquellen im Inneren der Einhausung. Dabei wurde das Deckenraster so gewählt, dass eine bestimmte Anzahl von Modulen nachgerüstet werden kann, ohne dass weiterer Aufwand für die Umrüstung entsteht.

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