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Kontaminationsfreier Transport im Vakuum



Das Handling im Vakuum ist oft eine wenig beachtete, aber dennoch heikle Aufgabe. Um Substrate ins Vakuum einzuschleusen und durch Gate-Ventile zu mehreren Prozessstationen zu bringen, steht jetzt ein planares Vakuumtransportsystem zur Verfügung.

 

Seit der Formulierung des Mooreschen Gesetzes im Jahre 1965 hat sich die Zahl der Transistoren eines Chips von einigen zahn auf 50 Mrd. erhöht. Während damals Mikroelektronik im Sinne von Mikrometern realisiert wurde, was noch eine durchaus vorstellbare Größe ist, ist die Dichte der Transistoren derzeit so groß, dass die Dimensionen von nur wenigen Nanometern der menschlichen Vorstellungskraft weitgehend entzogen sind.

 

Mit dieser Entwicklung musste auch die Produktionsumgebung Schritt halten. So wurde mit der Miniaturisierung auch die Vermeidung immer kleinerer Partikel für die Ausbeute entscheidend. Während ein Partikel der Größe von einem Mikrometer auf den ersten Chips in der Struktur unterging, scheint dieser auf einem Chip des 10 nm Node, bei dem die Breite der funktionalen Strukturen bis zu 7nm heruntergeht, wie ein riesiger Brocken.

 

Vielfältige Partikelquellen in der Halbleiterfertigung

 

Zusammen mit der Mikroelektronik mussten daher auch die entscheidenden Fertigungsprozesse weiter- entwickelt und angepasst werden. Ein zentraler Einflussfaktor für die Ausbeute ist dabei die Sauberkeit. Dies betrifft sowohl Partikel als auch sonstige Verunreinigungen, beispielsweise ausgasende organische Verbindungen oder die sich ausbreitenden Bestandteile von Fetten, Ölen oder anderen Betriebsstoffen.

 

Im Reinraum ist der Umgang mit diesen Faktoren noch gut erfassbar. Zwar steigt der Aufwand mit der ständig weiter aufbereiteten und gefilterten Luft, es gibt jedoch eine Vielzahl von Strategien, von der Verbesserung der Filter bis zur stufenweisen Verkleinerung der Arbeitszellen. Gleichzeitig ist auch das Monitoring der Luftqualität ständig verbessert und auf immer kleinere Partikel angepasst worden. Ein großer Vorteil ist hierbei, dass die Partikel leicht mit einem laminaren Strom fortgetragen werden können und alle Materialien immer mit einem definierten Stoff aus der Laminarströmung an ihrer Oberfläche belegt sind. [...]

 

 

HERSTELLER

MAFU Robotics GmbH

D-72348 Rosenfeld

Tel. +49 7428 931-130

www.mafu-robotics.de

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