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Reinheit in Serie



Bild 1. Durch Entwicklungen in der Halbleiterindustrie, vor allem die EUV-Technologie, sind die Reinheitsanforderungen an das Produktionsequipment für Mikrochips enorm gestiegen

Der Trend zur Miniaturisierung sowie steigende Anforderungen an die partikuläre und filmische Sauberkeit lassen den Bedarf an Lösungen zur Feinstreinigung steigen. In High-Purity-Branchen wie der Halbleiter-Zulieferindustrie und Optik vollzieht sich ebenfalls ein Wandel.

 

Die Automobilindustrie galt lange Zeit als Treiber für immer strengere Sauberkeitsspezifikationen, vor allem bei der Partikelsauberkeit. In der Präzisionsreinigung haben diese Rolle die Hersteller von Produktionsequipment für die Halbleiterindustrie inne (Bild 1). Getrieben wird die Entwicklung vor allem durch die EUV-Technologie. Sie ermöglicht die Produktion immer leistungsfähigerer Mikrochips, die kaum fingerkuppengroß mehr als zehn Milliarden Transistoren beherbergen können.

 

Feinstpartikuläre Sauberkeit

Nicht verwunderlich daher, dass die Spezifikationen für die feinstpartikuläre Sauberkeit bis in Nanometer-Größenordnung reichen. Extrem streng sind auch die Vorgaben bei filmischen Kontaminationen. Geht es um die Ausgasungsrate von organischen Substanzen und Flüssigkeiten sowie Oberflächenanalysen auf Rückstände anorganischer Stoffe, können die noch zulässigen Werte je nach Bauteil im Atomprozentbereich liegen. Die Auslegung der Prozesse und Anlagentechnik inklusive Teileaufnahmen sowie der Umgebungsbedingen für die Reinigung solcher Bauteile zählt seit Jahren zu den Kernkompetenzen der UCM AG, dem auf Präzisionsreinigung spezialisierten Bereich der SBS Ecoclean Group.

 

Ausgangsbasis für die aufgabenspezifische Konzeption der Mehrkammer-Ultraschallreinigungsanlagen und Reinigungsprozesse sind Werkstoffe und Geometrie der zu reinigenden Teile sowie Grad und Art der Verschmutzung. Aufgrund der teilweise sehr strikten Ausgasungsgrenzwerte liegt ein Augenmerk auch auf der Auswahl geeigneter Reinigungschemie. Dies trägt ebenso wie die kritische Betrachtung der Materialien und Fertigungsverfahren, die beim Bau der Reinigungsanlage eingesetzt werden, dazu bei, Re- und Cross-Kontaminationen zu verhindern. […]

 

Hersteller

Ecoclean GmbH

70794 Filderstadt

www.ecoclean-group.net

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