Großer Messbereich für kleinste Strukturen
Die Oberfläche von flexibler Hybridelektronik lässt sich mithilfe der Weißlicht-Interferometrie flächendeckend und berührungslos überprüfen. Die Aufgabenstellung ist sehr anspruchsvoll, denn die Beschichtung darf durch Messungen nicht beschädigt werden.
Flexibler Dehnungsmesssensor zur Atmungsüberwachung
Immer wenn es um die Prüfung der Oberflächen feinster Strukturen geht, sind Weißlicht-Interferometer in ihrem Element, in der Elektronikfertigung und Entwicklung ebenso wie im Labor und in der Forschung. Das Verfahren arbeitet berührungslos und funktioniert auf nahezu allen Materialien. Dabei liefert die dreidimensionale optische Messtechnik nicht nur eine funktions- und strukturorientierte Auswertung als Basis für Qualitätskontrolle und Fertigungsoptimierung, sondern auch ein für die menschliche Auffassungsgabe leicht verständliches Abbild der Oberfläche. Davon profitieren alle Sparten der Elektronikfertigung bis hin zu den aktuellen Projekten auf dem Feld der flexiblen Elektronik.
Als Schlüsseltechnologie bildet die Mikroelektronik die Grundlage zahlreicher Innovationen in ganz unterschiedlichen Bereichen. Mit dem ›Flexmax‹-Projekt beispielsweise fördert das Bundesministerium für Bildung und Forschung die Entwicklung einer flexiblen und gleichzeitig aktiven Sensormatrix für medizinische Anwendungen. Solche Sensorfolien können dann zum Beispiel die Atmungsüberwachung von Frühgeborenen verbessern (Bild 1), bei chronischen Erkrankungen Verwendung finden oder auch während einer Herzoperation die Position des Katheters bestimmen. Ein Geschäftsbereich des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart (IMS Chips) beschäftigt sich aktuell mit der Entwicklung solcher Hybridsysteme, die Sensorik und Mikrochip direkt in einer flexiblen Polyimid-Folie integrieren (Bild 2). Sie lassen eine hohe Integrationsdichte zu, können sich aber auch einfach an verschiedenste Flächen und Formen anpassen. Gleichzeitig muss für die innovativen Produkte aber auch ein kostengünstiger, serientauglicher Herstellungsprozess entwickelt werden. Nur dann können Patienten zukünftig von den Möglichkeiten profitieren, die sich dank der Fortschritte in der Mikroelektronik realisieren lassen. […]
Hersteller
Polytec GmbH
D-76333 Waldbronn
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