In der Schwebe
Die berührungslose Kleinteile-Handhabung mit Ultraschall geschieht schonend, wartungsfrei und reinraumtauglich. Vorteile verspricht das Verfahren unter anderem in der Halbleiterindustrie.
Die Greiferspitzen des Greifers ›MicroLevi‹ können über eine Spannzange leicht ausgetauscht werden
Der technische Fortschritt und die Nachfrage nach immer kleineren und leistungsfähigeren Prozessoren führen zu anspruchsvollen Anforderungen. Um die Herstellung innovativer Produkte zu ermöglichen, werden neue Techniken, wie zum Beispiel die Stapelung sehr dünner Chips, benötigt. Die Eigenschaften dieser dünnen Wafer und Chips stellen eine zusätzliche Herausforderung bei der Handhabung dar. Die Materialien sind flexibel, zerbrechlich und wellig, wobei sie häufig außerdem speziell behandelte Oberflächen, zum Beispiel mit Klebstoff, besitzen.
Klassische Handhabungssysteme weisen häufig Probleme auf, wie die Kontamination durch Partikel bei Luftlagern, die durch die Luftverwirbelungen von Druckluft entstehen (etwa bei Bernoulli-Greifern). Andere Systeme ohne Luftzufuhr, wie zum Beispiel Vakuum-Greifer, können bei der Handhabung Spuren wie Abdrücke oder Kratzer auf dem Substrat hinterlassen. Mithilfe des patentierten Ultraschall-Lagers von ZS-Handling können Substrate gleichmäßig auf einem durch Schwingungen generierten Luftfilm schweben und dadurch während des Handlings berührungslos gehalten werden. Durch eine Kombination aus Unterdruck und Ultraschall wirken gleichzeitig anziehende und abstoßende Kräfte auf das Werkstück und halten es somit auch beim Greifen von oben auf Abstand.
Ultraschallbewegung erzeugt tragenden Gasfilm
Die Ultraschallbewegung der sogenannten Sonotrode erzeugt einen tragenden Gasfilm (Luft oder Prozessgas) zwischen der Sonotrodenoberfläche und dem Substrat. Das Substrat schwebt auf dem entstandenen Gasfilm in Abständen von 10 bis 150 μm. Unter Ausnutzung von Auftriebskräften durch Vakuum wird eine Handhabung von oben ermöglicht. Auf diese Weise wird jeder mechanische Oberflächenkontakt vermieden. […]
HERSTELLER
ZS-Handling Technologies GmbH
D-93055 Regensburg
Tel.+49 941 60389-900