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Wafer vor Oxidation schützen

Energieeffiziente Pneumatik mit Piezotechnik. Die Herstellung von Reifen und die von Wafern scheinen so gar nichts miteinander zu tun zu haben. Bezüglich der Automatisierungstechnik greifen sie aber auf dieselbe Technik zurück: auf die geregelte Pneumatik.

Wenn es in der Halbleiterindustrie um den Transport und die Lagerung von Wafern geht, verhindert das ›N2 Purge‹-System, dass Sauerstoff die Wafer oxidieren lässt

Festo, Esslingen, hat dazu die Drucklufttechnik so weiterentwickelt, dass die Pneumatik nachhaltig, ressourcenschonend und energieeffizient wird.

Bei der geregelten Pneumatik oder Controlled Pneumatics verbindet der Hersteller Proportionaltechnik, Sensorik und Regelungsalgorithmen zu einem Regelkreis. Es sind mechatronische pneumatische Systeme mit neuartiger Ventil- und Kommunikationstechnik, die eine digitale Einflussnahme in Verbindung mit einer Closed-Loop-Regelung auf eine Sensorgröße erlauben. […]

 

HERSTELLER

Festo SE & Co. KG

D-73734 Esslingen

Tel. +49 711 347-1600

www.festo.com

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