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Geduld, Know-how und ganzheitliche Konzepte

Eine gelungene Anlagenkonzeption im High-Purity-Segment setzt eine enge Zusammenarbeit zwischen Hersteller und Anwender, eine umfangreiche Testphase sowie Unterstützung bei der Einbindung voraus. Die Halbleiterindustrie ist hier nicht zuletzt Treiber.

Bild 1. Komplexe Baugruppen mit hohen Reinheitsanforderungen für die anschließende Montage im Reinraum benötigen schlüssige Gesamtkonzepte

Ob mini oder XXXL, ob ›am Stück‹ oder auf mehreren Etagen in einem Gebäude verteilt – die Anlagenkonzeption im High-Purity-Segment wird immer anspruchsvoller. In der Architektur, im verfahrenstechnischen Innenleben und in puncto Infrastruktur. Antreiber der Branche sind unter anderem die Big Player im Bereich der Hochvakuumtechnik für die Halbleiterproduktion. Sie fertigen immer komplexere Komponenten mit ständig steigenden Reinheitsanforderungen. Das hat zur Folge, dass sich gerade auch die zerspanende Zuliefererindustrie anderen Aufgaben gegenübersieht. Schwierige Geometrien und hohe Präzision in der Fertigung, gepaart mit deutlich strenger werdenden Sauberkeitsparametern, erfordern hochreine Umgebungen, eine ideal abgestimmte Prozesskette sowie eine geeignete Reinigungstechnologie. Die Anlagenbauer müssen hier als Partner fungieren, Geduld sowie fundiertes Know-how aufweisen und ganzheitliche Konzepte bieten.

 

Bauteile für etwa Lithografiesysteme in der Halbleiterindustrie pushen den High-Purity-Markt (Bild 1). Verschiedenste Materialien und Geometrien, von Strukturkomponenten über Ventilbaugruppen, Spiegel und Linsen, bis hin zu Sensoren oder Kühlleitungen aus zum Beispiel Edelstählen, Aluminium, Kupfer, Keramik oder verschiedenen Kunststoffen fordern angepasste Herstellungsprozesse unter Berücksichtigung des geforderten Levels an Reinheit am Produkt und im Prozess (Bild 2). […]

 

HERSTELLER

LPW Reinigungssysteme GmbH

D-72585 Riederich

Tel. +49 7123 3804-0

www.lpw-reinigungssysteme.de

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