Individuelle Justage beim Lasermarkieren
In der Halbleiterindustrie sind die Anforderungen ans Lasermarkieren besonders hoch. Um die Punkttiefe und den -durchmesser besonders genau einbringen zu können, entwickelte InnoLas Semiconductor das Advanced-Power-Control-(APC-)System, das in Verbindung mit einem OEM-Leistungssensor für exzellente Ergebnisse sorgt.
InnoLas- Markiersysteme kennzeichnen Siliziumwafer im Produktionsprozess eindeutig
Bei der Lasermarkierung von Wafern unterscheidet man zwischen Soft und Deep Marks. Die noch unpolierten Wafer werden in der Regel mit einem Deep Mark eindeutig gekennzeichnet, während die schon polierten Wafer mit einem Soft Mark versehen werden. Die beiden Markierverfahren unterscheiden sich vor allem in Bezug auf die Dottiefe (auch Punkttiefe) und den Dot- respektive Punktdurchmesser (Bild 1). Während ein Deep Mark zwischen 50 und 150 μm tief in das Material eindringt und einen Dotdurchmesser von 25 bis 110 μm aufweist, ist ein Soft Mark nur 0,5 bis 5 μm tief bei Durchmessern zwischen 30 und 70 μm. Mit jeder Bearbeitungsstufe des Wafers werden die Anforderungen an die Markierungen höher, ein zu starker Materialabtrag könnte schnell zu einer Verunreinigung des Wafers führen (Bild 2). Das gilt es ebenso zu vermeiden wie eine zu große Wärmeeinflusszone.
InnoLas Semiconductor bietet für beide Verfahren individuell auf den Kundenwunsch angepasste Lasersysteme. Gegründet wurde das Unternehmen 1995 ursprünglich als Serviceunternehmen für Laser, doch schnell zahlte sich auch die Entwicklung eigener Lasersysteme aus: Schon 1996 wurde das erste ›IL2000‹-Wafermarkiersystem verkauft und ausgeliefert. Heute sind Wafermarkier- und Sortiersysteme von InnoLas Semiconductor bei führenden Herstellern von Halbleiterwafern und -chips weltweit im Einsatz. Entwickelt und produziert werden sie am hochmodernen Hauptsitz in Inning am Ammersee ausschließlich in Reinräumen, wodurch die Zeit zwischen der Auslieferung und der Fertigungsfreigabe beim Kunden auf ein Minimum verkürzt wird. Besonderen Wert legte InnoLas von Anfang an auf höchste Qualität und kontinuierliche Anpassung und Optimierung der Systeme in einem sehr dynamischen Markt. […]
HERSTELLER
Ophir Spiricon Europe GmbH
MKS Instruments, Inc.
D-64291 Darmstadt
Tel. +49 6151 708-0
ANWENDER
InnoLas Semiconductor GmbH
D-82266 Inning a. Ammersee
Tel. +49 8143 24195-0