Piezosystem für die Nanopositionierung
Simultane Tests optischer Komponenten in der Siliziumphotonik: Die Komponenten für die Verarbeitung und Übertragung optischer Signale besitzen einen oder mehrere Ein- und Ausgänge. An jeden einzelnen muss für das Packaging oder Testverfahren eine optische Faser mit einer Genauigkeit von wenigen zehn Nanometern justiert werden. Erfolgt dieser sogenannte Alignment-Prozess sequenziell, wird eine Serienproduktion aufgrund des Zeitfaktors schnell unwirtschaftlich. Infolge dessen wird eine Lösung für einen ein- und ausgangsseitig simultanen Kopplungsprozess benötigt, die die Testzeit der Bauteile verkürzt.
Der ›P-611.3 NanoCube‹ ist ein kompaktes Piezosystem für die Nanopositionierung und Faserausrichtung in XYZ-Richtung. Im Demonstrationsaufbau wird ein im Wafer integrierter Waveguide durch eine Monomodefaser simuliert. An die Faserenden werden über präzise piezobasierte XYZ-Versteller Fasern mit Linsen gekoppelt. Die Positioniersysteme besitzen eine schnelle Scangeschwindigkeit und können die Ausrichtung in mehreren Freiheitsgraden zeitgleich an Ein- und Ausgang ausführen.
Die Stellwege in der X-, Y-und Z-Achse betragen 25 mm für die erste Ausrichtung der Fasern und 100 µm für den positionsgeregelten Scan.
Als Ansteuerung dient die modular ausbaubare Motion-Controller-Plattform ›E-712‹ mit integrierten Alignmentroutinen, die für diese Aufgabe speziell angepasst wurde und sowohl sechs motorisierte als auch sechs piezoaktorische Achsen ansteuern kann.
Hersteller:
Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG
76228 Karlsruhe
Tel.: +49 721 4846-0
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