Objektivpositionierer an der Maschine
›Mipos 140 OEM‹, geeignet für die Maskeninspektion, die Mess- und Prüftechnik, in der Optik, Halbleiterindustrie und für die industrielle Messtechnik
Optische Achse unbeeinflusst: Objektivpositionierer werden oft direkt an den Revolver eines Mikroskops angebracht, wie die ›Mipos‹-Positionierer des Unternehmens Piezosystem Jena. Zwei weitere Positionierer ergänzen nun die Serie – sie werden an der Maschine oder Schiene angeschraubt.
Bei nachträglich eingebauten Positionierern kommt es zu einer Verlängerung der optischen Achse. Der Abstand zwischen Objektiv und Probe verkürzt sich. Dies kann zu Kollisionen zwischen der Optik und dem Objekt führen. Die optische Achse bei der ›Mipos 140‹ soll jedoch nicht verlängert werden. Die Position der Optik bleibt laut Hersteller unverändert und der Fokuspunkt verbleibt an der eingestellten Position. Objektive mit einem Gewicht von bis zu 500 g können mit der ›Mipos 140 OEM‹ positioniert werden. Mit einem Stellbereich von 100 µm im geregelten beziehungsweise 140 µm im ungeregelten Betrieb erreicht sie eine Auflösung im Sub-Nanometer-Bereich. Sie kann mit DMS, kapazitiven oder alternativen Sensoren zur Positionsbestimmung ausgestattet werden, wodurch Kriechen und Hysterese vermieden werden sollen.
Der Objektivpositionierer ›Mipos 250 SG‹ verfügt über einen Verstellbereich von 250 µm im ›open loop‹-Betrieb. Der Positionierer ist so konzipiert, dass er an eine Planfläche angeschraubt werden kann, da er eine hohe Ebenheit aufweist. Diese kann eine optische Bank sein oder eine Schiene innerhalb einer Maschine. Die für Standardmikroskopgewinde erhältlichen Einschraubringe machen den Positionierer universell einsetzbar. Das Parallelogrammprinzip soll dabei eine Bewegung ohne Spiel und ohne Beeinflussung der optischen Achse garantieren.
Hersteller:
piezosystem jena GmbH
07747 Jena
Tel.: +49 3641 6688-0
Fax: +49 3641 6688-66
www.piezosystem.com