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1- oder 2-Achs-Systeme mit extremer Steifigkeit



NanoX-Prinzip

Piezokeramiken aktiv und bi-direktional steuern: Dank ›NanoX‹-Technologie von Piezosystem Jena wird die Bewegung durch zwei Piezokeramiken erreicht, welche elektrisch in gegensätzliche Richtungen angesteuert werden. Beide Keramiken bewegen sich auf der gleichen Achse. Dadurch soll der Piezotisch Druck- und Zugkräfte aushalten können.

 

Konventionelle 1-Achs-Piezopositioniersysteme werden werden durch eine einzige Piezokeramik gesteuert. Diese ist in einem Festkörpergelenk integriert, um bessere Geradlinigkeit und größere Bewegung zu erreichen. Die Keramik erzeugt Druckkräfte in ihrer Bewegungsrichtung. In der entgegengesetzten Bewegungsrichtung sind die Stapel leider schwächer. Zugkräfte, die die interne Vorspannung übersteigen, können daher zu Schaden an dem System führen.

 

Durch ihre Konstruktion haben NanoX-Stapelaktoren laut Hersteller eine höhere Steifigkeit gegenüber konventionellen Piezokeramiken. Denn während eine Piezokeramik geladen wird, wird die Andere entladen. Deswegen sind sie ideal für dynamische Bewegungen und eignen sich für das Scanning.

 

Es gibt verschiedene Piezoaktoren, die mit dem NanoX-Prinzip arbeiten. Sie erreichen Steifigkeitswerte von bis zu 1.1 N/µm bei einem maximalen Hub von 240 µm. Piezotische mit bis zu 480 µm sind erhältlich und können zu Mehrachssystemen kombiniert werden.

 

Eigenschaften:

  • extreme Steifigkeit bis zu 1.1 N/µm für einen Hub von 240 µm
  • hohe Dynamik mit bis zu 700 Hz
  • 1- oder 2-Achs-Bewegung mit Nanometer-Genauigkeit
  • kurze Einschwing- und Anstiegszeiten
  • aktive Druck- und Zugkraft – daraus resultierende aktive Schwingungsdämpfung, Vibrationskontrolle, Hochlastbereich, exzellente Führungseigenschaften
  • Positionierung ohne mechanisches Spiel
  • Innenöffnung für Laserstrahlführung
  • integrierte Temperaturkompensation
  • hervorragendes Scanningverhalten

 

 

Hersteller:
piezosystem jena GmbH
07747 Jena
Tel. +49 3641 6688-0
Fax +49 3641 6688-66
www.piezosystem.com