Hochdurchsatz-Screening von Wafern bis 12 Zoll
Das kompakte Inspektionsportal verfügt über insgesamt vier Reinraumachsen und erlaubt die automatisierte Prüfung mehrerer Objekte gleichzeitig Quelle: Steinmeyer Mechatronik GmbH
Kompaktes Inspektionsportal. Mit dem ›Doppel-XYZ-Wafer-Positionierer‹ bietet Steinmeyer Mechatronik, Dresden, eine wirtschaftliche Lösung für die Analyse und Inspektion großer Wafer bis 12 Zoll beziehungsweise 300 mm. Wie der Hersteller mitteilt, erlaubt das Inspektionsportal mit insgesamt vier Reinraumachsen die automatisierte Prüfung mehrerer Objekte gleichzeitig und gewährleistet hohe Effizienz.
Der Positionierer verfügt über zwei X-Achsen für Scanner beziehungsweise Mikroskope bis 10 kg sowie zwei Y-Achsen für Chucks bis 15 kg und ermöglicht die Prüfung von Vorder- und Rückseite auf einem System. Das komplett betriebsbereite Achssystem ist für den Einsatz im Drei-Schicht-Betrieb bis Reinraumklasse ISO 2 ausgelegt, kompakt gebaut, wartungsarm und kundenspezifisch konfigurierbar.
Ob Wafer bis 12 Zoll beziehungsweise 300 mm, Probecards oder Leiterplatten: Mit dem Positionierer lassen sich große Substrate schnell und präzise untersuchen. Wie das Unternehmen mitteilt, realisieren eisenlose Direktantriebe hochdynamische Fahrten mit Spitzengeschwindigkeiten von bis zu 1.000 mm/s bei Verfahrwegen von bis zu 720 mm. Der hohe Probendurchsatz gewährleistet eine schnelle Analyse und damit kurze Zykluszeiten. Trotz des doppelten Durchsatzes ist die Aufstellfläche aufgrund der kompakten Bauweise sehr gering. Die Basis für die vier Reinraumachsen bildet eine massive, schwere Granitplatte, wodurch sehr gute Ablaufwerte erreicht werden. Dank der Wiederholgenauigkeit von 0,3 µm lassen sich präzise Messergebnisse und Qualitätssteigerungen erzielen.
Das Inspektionssystem wird mit voll vermessener Genauigkeit sowie inklusive Kabelmanagement, Motion Controller und Befestigungsbohrungen für Gehäuseanbauten geliefert. Unterschiedliche Engineering-Leistungen und applikationsspezifische Anpassungen gestatten eine passgenaue Auslegung. So kann die Vertikalverstellung wahlweise fest, manuell, motorisch mit Spindel oder dynamisch mit pneumatisch entlastetem Direktantrieb für Höhenkompensation bei voll interpolierter Bewegung erfolgen. Darüber hinaus steht eine Vielzahl an Steuerungen zur Verfügung – mit DLL und API zur aufwandsarmen Softwareintegration bis hin zu SPS-Einbindung. Dank des Portalaufbaus lässt sich der Positionierer einfach in bestehende Linienprozesse integrieren. Reparatur, Instandhaltung und Wartung sind per Achstausch mit vorjustiertem Wechselinterfaces mit laut Hersteller nur sehr kurzer Stillstandszeit erledigt.
Hersteller:
Steinmeyer Mechatronik GmbH
D-01259 Dresden