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Kleine Kräfte präzise messen



Der SlimLine-Sensor ›9132CD‹ eignet sich für viele anspruchsvolle Einsatzgebiete

Neuer SlimLine-Kraftsensor überwacht Halbleiterproduktion. Kistler hat mit dem ›SlimLine Sensor 9132CD‹ einen Kraftaufnehmer im Programm, der nach Angaben des Unternehmens neunmal empfindlicher ist als vergleichbare SlimLine-Sensoren. Er wird mit einem neuen, flexiblen und langlebigen Anschlusskabel geliefert. Damit eignet er sich insbesondere für Halbleiter- und 3C-Anwendungen, bei denen hochpräzise Messungen kleiner Kräfte bei begrenztem Bauraum gefragt sind.

 

In immer komplexeren Produktionsumgebungen steigen auch die Ansprüche an die Prozesskontrolle. In den letzten Jahren hat sich die piezoelektrische dynamische Kraftmessung als hocheffiziente Methode zur Überwachung, Steuerung und Optimierung von Produktionsprozessen erwiesen, insbesondere dort, wo Prozesskräfte ein kritischer Faktor sind.

 

Zwei Alleinstellungsmerkmale des neuen Kraftaufnehmers, nämlich das piezoelektrische Material und das flexible Anschlusskabel, werden den Anforderungen an die Kraftmessung in komplexen Fertigungsprozessen gerecht. Das piezoelektrische Material ist ein spezieller Kristall, der vom Unternehmen an seinem Hauptsitz in Winterthur, Schweiz, entwickelt und gezüchtet wurde. Wie natürliche Quarze reagiert der künstliche Kristall aufgrund seiner Steifigkeit sehr schnell auf Kraftänderungen. Mit einer Empfindlichkeit von 35 pC/N ist er jedoch neunmal empfindlicher als aktuelle SlimLine-Sensoren. Dadurch kann er selbst kleinste hochdynamische Kraftänderungen mit sehr hoher Genauigkeit messen.

 

Ein Sensor ist jedoch immer nur so gut wie sein Anschlusskabel, das in anspruchsvollen Produktionsumgebungen unter Umständen stark strapaziert wird. Dies ist beispielsweise der Fall, wenn der Sensor Teil einer sich schnell bewegenden Bestückungsstation mit sehr kurzen Zykluszeiten ist. Sollte hier ein Kabel brechen, würde die Produktion gestoppt und es käme für die Dauer des Kabelaustauschs zu Ausfallzeiten

 

Der 9132CD begegnet dieser Herausforderung mit einem integrierten hochflexiblen Anschlusskabel, das unter einem Biegeradius von 30mm mindestens 10 Millionen Zyklen in der Schleppkette standhält.

 

Aufgrund dieser Eigenschaften und seiner kleinen, leichten Bauform eignet sich der SlimLine-Sensor 9132CD für viele anspruchsvolle Einsatzgebiete. Neben der Messung von Kräften an automatischen Montageanlagen und Pick-and-Place-Stationen kommen die Sensoren in Chip-Bonding-Maschinen in der Halbleiterindustrie, bei filigranen Fügeprozessen in der Medizintechnik, oder für Kontaktmessungen an Tasten, Schaltern und Relais zum Einsatz.

 

Hersteller:

Kistler Group

CH-8408 Winterthur

www.kistler.com