Pilotinfrastruktur entsteht europaweit
Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) bringt seine Expertise in der industriekompatiblen CMOS-Halbleiterfertigung im 300-mm-Waferstandard ei
Schnellere Markteinführung von Quantentechnologien. Trotz intensiver wissenschaftlicher Forschung steht die europäische Industrie vor der Herausforderung, Innovationen aus der Quantentechnologie in skalierbare Prozesse und Produkte zu überführen. Daher sollen im Projekt ›Qu-Pilot‹ bestehende Pilotfertigungsinfrastrukturen der europäischen Forschungs- und Technologie-Organisationen (RTO) genutzt werden. Ziel ist es, die Markteinführung europäischer industrieller Innovationen in der Quantentechnologie zu beschleunigen und den Aufbau einer vertrauenswürdigen Lieferkette zu unterstützen.
Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) bringt seine Expertise in der industriekompatiblen CMOS-Halbleiterfertigung im 300-mm-Waferstandard ein. Dies betrifft zum Beispiel Herstellungsprozesse wie Abscheidung und Nanostrukturierung oder elektrische Charakterisierung im Wafermaßstab.
Ein besonderer Schwerpunkt ist die Verbesserung der Metallisierung und der BeoL-Module. Es werden mehrere technologische Module für supraleitende lokale und globale Verbindungen optimiert, die für die integrierte Anregung, die Steuerung und das Auslesen von Halbleiter-Qubits unerlässlich sind.