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Waferdicke präzise messen



Das Weißlicht-Interferometer ›IMS5420-TH‹ von Micro-Epsilon kann es sowohl für undotierte, dotierte sowie für hochdotierte SI-Wafer eingesetzt werden

Neues Weißlichtinterferometer im Portfolio. Auf die industrielle Dickenmessung von monokristallinen Siliziumwafern ist das Weißlicht-Interferometer ›IMS5420-TH‹ von Micro-Epsilon, Ortenburg ausgelegt. Dank der breitbandigen Superlumineszenzdiode (SLED) kann es sowohl für undotierte, dotierte sowie für hochdotierte SI-Wafer eingesetzt werden. Der Dickenmessbereich erstreckt sich von 0,05 bis zu 1,05 mm. Die messbare Dicke von Luftspalten beträgt sogar bis zu 4 mm.

 

Bei der Produktion von Halbleiterwafern kommt es auf höchste Präzision an. Ein wichtiger Prozessschritt ist das Läppen der Siliziumrohlinge, die dabei auf eine einheitliche Dicke gebracht werden. Um die Dicke fortlaufend zu kontrollieren, wurden die Weißlichtinterferometer der Reihe ›interferoMETER IMS5420‹ entwickelt.

 

Diese bestehen jeweils aus einem kompakten Sensor und einem Controller, der in einem robusten industrietauglichen Gehäuse untergebracht ist. Eine im Controller integrierte aktive Temperaturregelung sorgt für eine hohe Stabilität der Messung.

 

Erhältlich ist das Interferometer entweder als Dicken- oder als Multipeak-Dickenmesssystem. Das Multipeak-Dickenmesssystem kann die Dicke von bis zu fünf Schichten messen, zum Beispiel Waferdicke, Luftspalt, Folierung und Beschichtungen >50 µm. Für Dickenmessungen unter schwierigen Umweltbedingungen ist der Controller ›IMS5420IP67‹ mit Schutzklasse IP67 und Edelstahlgehäuse sowie passenden Lichtleitern und Sensoren verfügbar.

 

Für Messaufgaben im Vakuum bietet das Unternehmen ebenfalls Sensoren, Kabel und Durchführungen an.

 

Hersteller:

Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG

D-94496 Ortenburg

www.micro-epsilon.de