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25.04.2014 | Halbleitertechnik | SÜSS MicroOptics

Wafer-Mikrooptik reift zum Industriestandard

Bei der Herstellung von Mikrokomponenten und -systemen konnten sich Verfahren der Halbleitertechnik in zahlreichen neuen Anwendungsgebieten etablieren. Jüngst hinzugekommen sind Prozesse wie das Nanoimprint und die Laserbelichtung, bei der die Mikrostrukturen ohne Umwege über die Maskentechnik erzeugt werden.[mehr]