Selektives laserinduziertes Ätzen
Mithilfe des selektiven laserinduzierten Ätzens lassen sich erstmals auch montierte Bauteile aus transparenten Materialien wie Glas mikrometergenau aus einem Block fertigen. Im Gegensatz zu abtragenden Verfahren zeichnet sich ISLE durch eine große Materialeffizienz aus.[mehr]
Mikrostrukturteile en masse
Die industrielle Reproduktion von UV-Lithografie-Strukturen in Metall ist eine attraktive Alternative zu den klassischen Verfahren der Präzisions- und Mikrotechnik. Selbst massive 3D-Logos lassen sich mit hoher Oberflächengüte in Großserie produzieren.[mehr]
Mikrooptische Replikation mit ›Step and Repeat‹
Für die UV-Replikation mikrooptischer Komponenten werden arrayhafte Replikationsmaster durch die wiederholte Abformung eines ultrapräzisionsbearbeiteten Einzellinsenstempels erstellt.[mehr]
Borosilikatschichten für die Mikrosystemtechnik
Mithilfe des ›Lithoglas‹-Verfahrens lassen sich hermetisch dichte Glasmikrostrukturen präzise auf unterschiedlichste Oberflächenmaterialien aufbringen. Die Glasschichten bilden damit eine äußerst zuverlässige Versiegelung im Wafer-Level-Packaging von Halbleiterbauelementen.[mehr]