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Nanoimprint-Lithografie mit SCIL

Die Nanoprägelithografie (Nanoimprint Lithography; NIL) ist ein Nanolithografie-Verfahren zur Herstellung von Nanostrukturen mittels eines nanostrukturierten Stempels. Um diese Technologie auch bei großflächigen Substraten anwenden zu können, eignet sich...

 

Herstellung hochpräziser Mikrokomponenten mittels UV-LIGA

Das LIGA-Verfahren - abgeleitet aus den Schritten Lithografie, Galvanik und Abformung - nutzt unterschiedliche Strahlquellen zur Belichtung des Fotolacks, beispielsweise Röntgenstrahlung (Röntgen-LIGA). Kostengünstiger als Röntgen-LIGA ist jedoch die...

 

Bearbeitungszentrum für Ultrapräzision

Das ultrapräzise Bearbeitungszentrum ›IL600‹ von Innolite aus Aachen verfügt in der Grundkonfiguration über drei hydrostatisch gelagerte Achsen. Die X-Achse hat einen Verfahrweg von 600 mm und trägt die Werkzeuge beziehungsweise die Messtechnik. Durch...

 

Automatisierte aktive Justage für optische Systeme

Das Spektrum der Montagelösungen erstreckt sich von manuellen Montageplätzen über hybride Montagestationen bis hin zu Montagevollautomaten. Besonders anspruchsvoll ist die aktive Justage optischer Komponenten, also die relative Ausrichtung von Komponenten...

 

Scankopf zum hochpräzisen Laserbohren und -schneiden

 

Präzise Bohrungen sind in vielen Branchen von großer Bedeutung: In der Automobiltechnik bestimmen die Bohrungen der Einspritzdüsen für Benzin- und Dieselmotoren den Kraftstoffverbrauch, den CO2-Ausstoß und die Leistung eines Verbrennungsmotors. In der...