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Herstellung hochpräziser Mikrokomponenten mittels UV-LIGA

Das LIGA-Verfahren - abgeleitet aus den Schritten Lithografie, Galvanik und Abformung - nutzt unterschiedliche Strahlquellen zur Belichtung des Fotolacks, beispielsweise Röntgenstrahlung (Röntgen-LIGA). Kostengünstiger als Röntgen-LIGA ist jedoch die Bestrahlung mittels UV-Licht (UV-LIGA). Das Verfahren wird unter anderem zur Herstellung hochpräziser Uhrenkomponenten eingesetzt.