Newsletter | Impressum | Mediadaten | Kontakt

Storefront

Logo von 3D-Micromac AG
Logo von Arges GmbH
Logo von COHERENT
Logo von COLANDIS GmbH
Logo von GFH GmbH
Logo von InnoLas Solutions GmbH
Logo von Infotech AG
Logo von LaVa-X GmbH
Logo von Leonhardt Graveurbetrieb
Logo von LT Ultra-Precision Technology GmbH
Logo von maxon motor gmbh
Logo von MKS Instruments - Newport Spectra-Physics GmbH
Logo von Nanoscribe GmbH
Logo von piezosystem jena GmbH
Logo von PM B.V.
Logo von POSALUX SA
Logo von Pulsar Photonics GmbH
Logo von SCANLAB GmbH
Logo von SPHINX Werkzeuge AG
Logo von Steinmeyer Mechatronik GmbH
Logo von Fritz Studer AG
Logo von WITTMANN BATTENFELD GmbH

Kontaminationsfreier Transport im Vakuum

Das Handling im Vakuum ist oft eine wenig beachtete, aber notwendige Herausforderung. Um Substrate ins Vakuum einzuschleusen und durch Gateventile zu mehreren Prozessstationen zu bringen, steht jetzt ein planares Vakuumtransportsystem zur Verfügung, das MAFU Robotics, Rosenfeld, entwickelt hat.

Beim Handling von empfindlichen Substraten sollte das Generieren von Partikeln vermieden werden. Hier setzt das neue Materialtransportsystem für das Vakuum an. Im Vakuum befinden sich nur noch die Läufer mit einer Größe von 210x210mm. Diese werden von den Spulen, welche in Form von quadratischen Kacheln unterhalb des Bodens der Vakuumkammer angeordnet sind, über Magnetfelder gesteuert. Dabei ist eine beliebige Anzahl von Läufern möglich. Jeder einzelne wird in allen 6 Freiheitsgraden über eine geschlossene Regelschleife bewegt. Dabei sind in der lateralen Bewegung in der Ebene keine Begrenzungen vorhanden.

 

Hersteller

MAFU Robotics GmbH

D-72348 Rosenfeld

Tel. +49 7428 931-130

Fax +49 7428 931-400

www.mafu-robotics.de

Kategorien dieses Videos: