Das Handling im Vakuum ist oft eine wenig beachtete, aber notwendige Herausforderung. Um Substrate ins Vakuum einzuschleusen und durch Gateventile zu mehreren Prozessstationen zu bringen, steht jetzt ein planares Vakuumtransportsystem zur Verfügung, das MAFU Robotics, Rosenfeld, entwickelt hat.

Beim Handling von empfindlichen Substraten sollte das Generieren von Partikeln vermieden werden. Hier setzt das neue Materialtransportsystem für das Vakuum an. Im Vakuum befinden sich nur noch die Läufer mit einer Größe von 210x210mm. Diese werden von den Spulen, welche in Form von quadratischen Kacheln unterhalb des Bodens der Vakuumkammer angeordnet sind, über Magnetfelder gesteuert. Dabei ist eine beliebige Anzahl von Läufern möglich. Jeder einzelne wird in allen 6 Freiheitsgraden über eine geschlossene Regelschleife bewegt. Dabei sind in der lateralen Bewegung in der Ebene keine Begrenzungen vorhanden.

Hersteller

MAFU Robotics GmbH

D-72348 Rosenfeld

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