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Luftgelagertes 5-Achs-Positionierungssystem mit Nanometer-Genauigkeit

Das 5-Achs-Antriebssystem ist von JAT für hochpräzises Positionieren kundenspezifisch entwickelt.

 

Im Gegensatz zu einem klassisch gestapelten Achssystem sind die Achsen X und Y hier koplanar angeordnet, dabei ist die X-Achse als Gantry ausgeführt. Die Z-Achse wurde mittels drei Keiltischen unter der Schlittenplatte realisiert und besitzt zusätzlich zum Hub eine Nivellier-/Tilt-Funktion. Als Basis dient ein hochgenau bearbeiteter Granit, der zur Schwingungsisolation auf Luftfedern gelagert ist. Dadurch werden eine niedrige Eigenfrequenz, gute Temperaturstabilität und eine hohe Steifigkeit erreicht. Die geläppten Laufflächen für die Luftlager ermöglichen eine sehr hohe Ablaufgenauigkeit von <1µm.

 

Die Besonderheiten des Systems:

 

  • Koplanar angeordnete XY-Achsen
  • Z-Tilt-Funktion zur Feinkorrektur der Applikation durch drei luftgelagerte Hub-Einheiten mit 17H19-Motoren und Spindel
  • Hybridsystem aus Luftlagerung und Wälzlagerung
  • Bidirektionale Wiederholgenauigkeit von 0,05 µm
  • Positionierauflösung in Z-Richtung <1nm
  • Software für Z-Tilt-Funktion
  • Gesamtsystem auf Luftfedern zur Schwingungsisolation, beispielsweise von Gebäudeschwingungen
  • Software für Kurzschlussbremse im Falle eines Stromausfalls
  • Sichere Langsamfahrt in X und Y

 

 

JAT entwickelt Positionier- und Bewegungssysteme im Sub-µm-Bereich individuell für die jeweilige Kundenanwendung in Industrie, Wissenschaft und Medizin.

 

 

Unternehmen:
JAT- Jenaer Antriebstechnik GmbH
Buchaer Straße 1
D-07745 Jena
Tel. +49 3641 63376-55
info@jat-gmbh.de
www.jat-gmbh.de/kontakt

 

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