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5-Achs-Aligner für die Halbleiterindustrie



Das Positioniersystem ›5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta‹ für die aktive Ausrichtung und Montage von Optiken Quelle: Steinmeyer Mechatronik

Aktive Ausrichtung und Montage von Optiken. Mit dem Positioniersystem ›5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta‹ bietet Steinmeyer Mechatronik, Dresden, eine Lösung für hochpräzise Ausrichtprozesse. Die Kombination aus Tripod und XY-Kreuztisch zeichnet sich laut Hersteller durch Genauigkeit, Robustheit, Zuverlässigkeit sowie eine kompakte Bauweise und Anwenderfreundlichkeit aus. Das Unternehmen empfiehlt die Lösung für die optische und aktive Ausrichtung.

 

Das Positioniersystem besteht aus einem Tripod ›MP200-3‹ und einem XY-Kreuztisch ›KDT235‹ – beide mit Durchlichtöffnung – und vereint damit die Vorteile parallelkinematischer und gestapelter Systeme in einem Produkt. Es arbeitet, wie das Unternehmen erklärt, hochpräzise über den gesamten Verfahrweg, ist einfach ansteuerbar und schafft dank seines robusten Aufbaus unter Industriebedingungen Millionen von Zyklen.

 

Das Positioniersystem ist 235 mm lang, 235 mm breit sowie 170 mm hoch. Es realisiert Verfahrwege in XY von 100 mm, einen Hub von 4 mm sowie Kippungen in Phi und Delta von 4° und punktet laut Hersteller mit einer absolut gleichbleibenden Wiederholgenauigkeit über alle Freiheitsgrade. Die drei vertikal wirkenden Präzisionsachsen des Tripods sind mittels Festkörpergelenken mit der beweglichen Lastplatte verbunden. Somit lässt sich die Lastplatte in zwei Achsen kippen und auch in der Höhe verstellen. Ein gehärteter und geschliffener Gleitgewindetrieb von Feinmess Suhl mit einem Spindeldurchmesser von 5 mm und einer Gewindesteigung von 0,5 mm ermöglicht feinste Zustellbewegungen. Auch im Vakuum und Reinraum laufen sie mit Sonderschmierung über eine lange Zeit störungsfrei.

 

Kartesisches Grundgerüst

Für die XY-Bewegung sorgt der kompakt und robuste gebaute Durchlicht-Scantisch ›KDT235‹, auf dem der Tripod aufgesetzt ist. Hochpräzise Kugelgewindespindeln und eine justierbare Orthogonalität gewährleisten hochgenaue Positionier- und Ablaufgenauigkeiten. Die Präzisions-Kugelgewindetriebe des Unternehmens August Steinmeyer sind mit einer Zylinder-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ausgestattet. Die geometrische Qualität und Oberflächengüte der spielfrei vorgespannten Gewindetriebe garantieren laut Hersteller einen idealen Gleichlauf in der Anwendung und ermöglichen kleinste Stellinkremente.

 

Ob optische und aktive Ausrichtung, hochauflösende Anwendungen in der Mikroskopie, 3D-Imaging, Interferometrie, Autofokus-Systeme oder Halbleitertests: Das Positioniersystem ist in der Halbleiterindustrie vielfältig einsetzbar und eignet sich auch für nicht rotationssymmetrische Teile. Von Vorteil sind außerdem die virtuellen Drehpunkte, die an einer beliebigen Stelle in die Werkstückoberfläche gesetzt werden können. Damit lässt sich der Drehpunkt in die optische Funktionsfläche legen und das Inspektionsobjekt aus verschiedenen Winkeln betrachten.

 

Eine Vielzahl an Optionen ist dabei möglich. Als Zusatzausstattung stehen unter anderem Drehtische, Probenhalter, Motion Controller, Umhausungen sowie unterschiedliche Sicherheitskonzepte und -technik zur Verfügung. Auch Varianten für Reinraum, UV, DUV, nicht reflektierende Oberflächen, magnetische Umgebungen sowie Vakuum sind realisierbar.

 

Hersteller

Steinmeyer Mechatronik GmbH

D-01259 Dresden

www.steinmeyer-mechatronik.de