MEMS-Spiegel mit 5,0 mm Durchmesser
MEMS-Spiegel mit 5,0 mm Durchmesser mit A4SR8.3-Aktuatorchip, montiert in einem ›DIP24‹-Package. Dieses Bauteil ermöglicht eine Winkelauslenkung von ±5 Grad bei 500 Hertz Resonanzfrequenz
Größere Spiegelfläche, größerer Strahldurchmesser: Das amerikanische Unternehmen Mirrorcle Technologies stellt MEMS-Bauteile mit 5,0 mm Durchmesser vor. Die gebondeten MEMS-Spiegel sind Mikrobaugruppen, bestehend aus einem aus Silizium gefertigten ›Aktuatormotor‹ und einem Spiegel, der in verschiedenen Größen verfügbar ist. Für die 5,0 mm-Spiegel empfehlen sich größere Aktuatoren, weil sie meist ein höheres Drehmoment bieten, wodurch höhere Geschwindigkeiten erreicht werden können.
Mit einem optischen 3D-Messsystem wurde der 5,0-mm-Spiegel auf Oberflächengüte und Ebenheit qualifiziert. Für sämtliche Spiegelgrößen wird ein Krümmungsradius von mindestens 5 m garantiert, mit einem Mittenrauwert von weniger als 50 nm. Dies ist für Anwendungen wichtig, in denen Strahlen zuverlässig, präzise und wiederholgenau zu bestimmten Winkeln gelenkt werden müssen, ohne die Strahlqualität negativ zu beeinträchtigen.
MEMS-Spiegel werden aus polierten Siliziumwafern gefertigt. Versehen mit einer spannungsarmen Metallbeschichtung sollen sie exzellente optische Qualität, Reinheit und Glätte bieten. Messungen ergaben einen Krümmungsradius von über 100 m, mit λ/20 und λ/40 für rote beziehungsweise infrarote Wellenlängen.
Der erste MEMS-Spiegel mit 5,0 mm Durchmesser wurde mit einem ›A4SR8’‹-Aktuator kombiniert und bietet ± 5 Grad mechanische Winkelauslenkung in beiden Achsen, also eine Gesamtauslenkung von 10 Grad. Die Geschwindigkeit weist auf eine Bandbreite von circa 500 Hertz in beiden Achsen. Die Spiegel bieten in Kombination mit den MEMS-Treibern eine 14-bit-Wiederholgenauigkeit.
Hersteller:
Mirrorcle Technologies, Inc. (MTI)
Richmond, CA 94804
USA
Tel.: +1 510 524-8820
Fax: +1 510 542-8806
www.mirrorcletech.com