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Verkapselung durchdrungen



Schwingungsmessung auf Infrarotbasis. Für die präzise Untersuchung der Dynamik von MEMS und anderen Mikrostrukturen hat sich die Laser-Doppler-Vibrometrie etabliert. Weil sie typischerweise jedoch mit sichtbaren Wellenlängen arbeitet, kann sie die Siliziumverkapselung von MEMS nicht durchdringen und somit verkapselte MEMS nicht direkt untersuchen.

 

Polytec, Waldbronn, bietet eine patentierte Lösung: Die Charakterisierung mit Licht- quellen im nahinfraroten Bereich erlaubt es, die Kapsel solcher MEMS zu durchdringen und zu vermessen, ohne sie öffnen zu müssen. Denn Silizium ist im nahen Infrarotspektrum oberhalb der Wellenlängen von 1050nm transparent. Die auf Infrarot-Interferometern basierende Schwingungsmesstechnologie von Polytec misst auf reales Schwingverhalten, liefert repräsentative Ergebnisse und bietet eine hohe Datenqualität aufgrund der expliziten Trennung der einzelnen Bauteilschichten in verkapselten MEMS.

 

Mit den Messdienstleistungen von Polytec können Kunden die Technologie nutzen, auch wenn sie kein eigenes Messsystem besitzen, sie können aber auch experimentelle Modalanalysen, Machbarkeitsstudien und Beratung in allen Projektphasen beauftragen.

 

Polytec GmbH,
76337 Waldbronn
www.polytec.com