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Multi-User-Tool für die Mikrofabrikation



Eine Auflösung von 100 nm: Metastrukturen mit Strukturgrößen unterhalb der Diffraktionsgrenze können in einem einzigen Prozessschritt hergestellt werden (Quelle: Multiphoton Optics GmbH)

Plattform für 3D-Lithografie und 3D-Mikrodruck. Erzielbare Bauteilhöhen von über 1 cm, Oberflächen mit Rauheiten in der Größenordnung von 10 nm, Strukturgrößen von kleiner als 100 nm und Schreibgeschwindigkeiten schneller als 1000 mm/s: Mit der neuen Zwei-Photonen Polymerisationsplattform ›MPO 100‹ präsentiert Heidelberg Instruments vom 25. bis 27. Januar auf der Messe ›SPIE Photonics West‹ in San Francisco erstmalig ein Multi-User-Tool, das sowohl die Anforderungen der 3D-Lithografie mit Auflösungen im Bereich von 100 nm als auch jene des 3D-Mikrodruckes mit Druckhöhen von über einem Zentimeter in einem Gerät kombiniert. 

 

»Die MPO 100 stellt ein einzigartiges Werkzeug für die Mikrofabrikation dar und erzielt mit 100 Nanometern die höchste Auflösung unter den additiven Fertigungsverfahren. Die 1-10-100-1000 Fähigkeit wird die Anwender an Universitäten, F&E-Einrichtungen sowie aus der Industrie begeistern und deutliche Vorteile für Neuentwicklungen in Bereichen wie der Mikrooptik, Mikrofluidik und Biomedizin bieten«, erklärt Dr. Benedikt Stender, Geschäftsführer der Multiphoton Optics GmbH, Würzburg, der Tochterfirma von Heidelberg Instruments, bei der die Entwicklung der Plattform durchgeführt wurde.

 

Die MPO 100 arbeitet, wie der Hersteller mitteilt, mit einer Laserwellenlänge im grünen Spektralbereich, der sich optimal für die 3D Strukturierung von gängigen Fotolacken eignet. Optimiert wurde die Plattform insbesondere für die Verarbeitung von Hybridpolymeren (ORMOCERs). Zusätzlich zu Algorithmen zur Optimierung der Strukturqualität bietet das synchronisierte Scansystem die Möglichkeit zur stitching-freien Fertigung. Darüber hinaus ist die Anlage mit einer Flowbox ausgestattet, die eine Temperaturstabilität von bis zu 0,1°C garantiert und damit die notwendige Stabilität für großflächige Belichtungen liefert. Anwendungsspezifische Schreibmodi ermöglichen kundenspezifische Druckanforderungen und zeichnen die Lösung als Multi-User-Tool aus.

 

»Mit der MPO 100 haben wir die Stärken von beiden Unternehmen in einem System vereint: Die ausgereifte Belichtungseinheit zur Zwei-Photonen Polymerisation von Multiphoton Optics und die industrielle Plattform von Heidelberg Instruments, die die erforderliche Stabilität garantiert und die notwendigen Industrie-Normen erfüllt«, sagt Steffen Diez, COO von Heidelberg Instruments.

 

Hersteller:

Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH

69123 Heidelberg

https://heidelberg-instruments.com

 

Multiphoton Optics GmbH

97076 Würzburg

https://multiphoton.de/