Vom Galvanometerscanner zum Microscan-System
›Microscan Extension MSE-G2‹, Scanobjektiv für die hochauflösende Lasermikrobearbeitung
Microscan-Extension für die Laserbearbeitung. Die Pulsar Photonics GmbH, Lasertechnik-Spezialist aus Herzogenrath, präsentiert mit der ›Microscan-Extension‹ ein Scanobjektiv zur Lasermikrobearbeitung. Dieses erzielt Auflösungen nahe der Sub-Mikrometergrenze und kann aus jedem Galvanometerscansystem in wenigen Minuten ein Microscan-System machen. Mithilfe der UV-Version der Microscan-Extension, einem Galvanometerscanner und einem UKP-Laser lassen sich durch Laserablation Strukturgrößen im einstelligen Mikrometerbereich realisieren, so der Hersteller. Dies eröffne vor allem für Medizintechnik, Mikrofiltration sowie Elektronik neue Anwendungsmöglichkeiten.
Die Miniaturisierung von Komponenten ist nicht mehr nur in der Elektronik relevant. Auch in der Medizin- oder Verfahrenstechnik gewinnt diese Entwicklung an Bedeutung. In der Medizin kommen zum Beispiel immer häufiger Mikrokatheter zum Einsatz, die mithilfe präziser Mikrobohrungen gezielt Wirkstoffe absetzen können. In der Verfahrenstechnik ermöglichen Mikrosiebe mit Ausgangsdurchmessern im einstelligen Mikrometerbereich eine gezielte Durchflusssteuerung.
Reproduzierbare Mikrobohrungen, Mikromarkierungen oder Ablationen mit hoher Strukturauflösung bis in den Sub-Mikrometerbereich erfordern geeignete Fertigungsverfahren. Bisher konnten UKP-Laser lediglich Strukturen im Größenbereich von 10-500 µm durchsetzen, was sich vor allem auf die verfügbare Scantechnik sowie Fokussierung zurückführen ließ.
Die Microscan-Extension ist in der Lage, Strukturgrößen von weniger als <10 µm herzustellen. Sie lässt sich wie ein konventionelles F-theta Objektiv an einen Galvanometerscanner montieren und macht eine UKP-Lasermaschine in wenigen Minuten für hochauflösende Mikrobearbeitung bereit. Mithilfe der neu entwickelten UV-Version der Microscan-Extension können, wie der Hersteller erklärt, sogar Fokusdurchmesser von bis zu 1.3 µm (1/e²) auf dem Werkstück realisiert werden. Moderne Galvanometerscanner mit Digitalencoder ermöglichen es dem Mikrometerwerkzeug mit einer Genauigkeit von <100nm über das Werkstück geführt zu werden. Das Einmessen der Probe sowie die Einstellung der Fokuslage erfolgen über die koaxiale Kamera des Scanobjektivs.
Dr. Stephan Eifel, Geschäftsführer bei der Pulsar Photonics GmbH erklärt: »Unsere neue Microscan-Technologie ist unsere Antwort auf die individuellen Anforderungen des Marktes. Damit sind Laserbohrungen von Ausgangsdurchmessern von weniger als 1,5 µm in dünnen Stahlfolien oder Mikrokathetern reproduzierbar möglich. Gleichzeitig kann die Microscan-Extension Mikromarkierungen mit hoher Informationsdichte auf ebenen Oberflächen prozesssicher und hochindividualisierbar einbringen und so die Applikationsbreite von UKP-Lasern bis zur Sub-Mikrometergrenze erweitern.«
Hersteller
Pulsar Photonics GmbH
52134 Herzogenrath