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Vielfältig einsetzbare Strahlprofilkamera



Die Strahlprofilkamera ›Ophir SP504S‹ von MKS Instruments

Beam Profiler für große und divergente Strahlen. MKS Instruments, Darmstadt, stellt die ›Ophir SP504S‹-Kamera zur Messung des Strahlprofils vor. Der Vorteil der neuen Kamera liegt vor allem in der geringen Pixelgröße: Sie ist laut Unternehmen mit nur 4,5 µm bis zu dreimal kleiner als vergleichbare Modelle auf dem Markt. Die Strahlprofilkamera liefert damit eine höhere Auflösung, beziehungsweise ermöglicht die Messung und Verfolgung von Strahlen mit kleinerem Strahldurchmesser, während weite und divergente Strahlen durch die große Messfläche ebenfalls erfasst werden können. Die Kamera eignet sich, wie der Hersteller erklärt, für Wellenlängen zwischen 340 und 1100 nm, misst Strahlen mit einem Durchmesser zwischen 45 µm und maximal 23 mm und bietet einen weiten dynamischen Bereich von 44,6 dB. Signale bis hinunter auf eine Leistungsdichte von 0,25 nW/cm² werden präzise und zuverlässig erfasst. Die Anwendungsbereiche des Messgeräts sind dementsprechend sehr vielfältig; sie reichen von der Lasermaterialbearbeitung über die Entwicklung von Produktion von VCSEL und LEDs bis zu Anwendungen in der ästhetischen Medizin.

 

»Laserhersteller müssen zunehmend kleine Merkmale in einem großen divergenten Strahlbereich finden, wie zum Beispiel bei der Halbleiterherstellung«, so Reuven Silverman, General Manager von Ophir Photonics. »Die SP504S-Kamera kann solche Strahlen mit Durchmessern von bis zu 23 mm erfassen und genau analysieren. Zuvor mussten große Strahlen oft mit Optiken reduziert werden, so dass der Strahl den Bildsensor der Kamera nicht überfüllt. Dabei besteht jedoch die Gefahr, dass eine Optik im Strahlengang die räumlichen Eigenschaften des Strahls verfälscht. Dank des großen Abbildungsfelds und der hohen Auflösung der Kamera müssen die Strahlen für die Messung nicht mehr verkleinert werden.«

 

Die Strahlprofilkamera kombiniert einen großen 32,5 mm CMOS-Sensor, der als ›Global Shutter‹ alle Pixel gleichzeitig auslesen kann, mit hoher Auflösung. Die Kamera verfügt über ein kompaktes Design mit einem Gewindeadapter, der Industriestandardgewinde 2,035"-40 für 2"-Optiken und Zubehör enthält. Stapelbare ND1-, ND2- und ND3-Filter sind ebenfalls vorhanden. Die GigE-Schnittstelle der Kamera ermöglicht eine Fernverbindung für industrielle Anwendungen.

 

Die Kamera wird von der ›BeamGage‹-Standard- sowie der BeamGage-Professional-Software von Ophir unterstützt. BeamGage basiert auf dem patentierten ›UltraCal‹-Algorithmus. Er ermöglichte es, den ISO11146-3 Standard für die Genauigkeit von Strahlprofilmessungen umzusetzen. Die Software beinhaltet alle Berechnungen, um präzise ISO-konforme Messwerte zu liefern; darunter Leistung, Strahldurchmesser und -form, Divergenz, Strahlprofil und erwartete Leistungsverteilung. Die Software bietet, so das Unternehmen, eine fortschrittliche Bildverarbeitung und liefert NIST-rückführbare Leistungsmessungen, Trenddiagramme, Datenlogging, Produktionstests OK/NOK sowie mehrsprachige Unterstützung.

 

Ophir Spiricon Europe

(MKS Instruments)

D-64291 Darmstadt

www.ophiropt.com/de