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Luftlagertechnik und Leichtbausystem kombiniert



Das neue Gantry-System: Granit als Fundament, darauf eine CFK-Achse auf Luftlagern

Neuartiges Gantry System konzipiert. Mikrochips in smarten Produkten werden immer leistungsfähiger. Gleichzeitig wird der Bauraum immer kleiner. Doch Maschinenhersteller für die Halbleiterfertigung geraten im Hinblick auf Genauigkeit und Dynamik zunehmend an die Grenzen. Um diesen hohen Anforderungen gerecht zu werden, hat das Unternehmen JAT - Jenaer Antriebstechnik ein neuartiges Gantry-System konzipiert. Granit hat als Fundament eine hohe thermische Stabilität sowie eine sehr gute Schwingungsdämpfung und ist ideal geeignet, wenn es um Präzision im Nanometerbereich geht. Darauf verfährt reibungsfrei eine CFK-Achse auf Luftlagern.

 

Wie das Unternehmen erklärt, ist der Verbundwerkstoff CFK aufgrund seiner mechanisch und thermisch hohen Belastbarkeit prädestiniert für diesen Einsatz. Durch das reibungsfreie Verfahren und die minimale Masse der Leichtbau-Achse sind laut Hersteller Beschleunigungen von 150 Meter pro Quadratsekunde und besser umsetzbar. Derartige Systeme können somit in der Elektronikfertigung, beispielsweise bei der Belichtung einzelner Bauelemente auf einem Wafer oder in der Leiterplattenbearbeitung beim Microdicing oder Microbonden eingesetzt werden.

 

Erstmals wird das System zur Messe SPS 2022 vorgestellt, die vom 8. bis 10. November in Nürnberg stattfindet.  

 

Hersteller

JAT - Jenaer Antriebstechnik 

D-07745 Jena 

www.jat-gmbh.de