Mikrostrukturen dynamisch vermessen
Nano Vibration Analyzer zur Messung des dynamischen Verhaltens und der statischen Auslenkung von Mikrostrukturen, MEMS und Cantilevern
Das fasergekoppelte laserinterferometrische Vibrometer der Firma Sios Meßtechnik aus Ilmenau ist in ein technisches Mikroskop integriert. Es eignet sich zur Messung des dynamischen Verhaltens und der statischen Auslenkung von Mikrostrukturen, MEMS und Cantilevern. Das Messobjekt der Serie ›NA‹ lässt sich im Bereich von 50x50 mm oder 100x50 mm mithilfe eines X-Y-Tisches positionieren sowie scannen und kann durch eine USB-Kamera beobachtet werden. Das Mikroskopobjektiv ist auswechselbar, dabei sind 10- und 50-fache Vergrößerungen möglich. Bei Verwendung des 50x-Objektivs beträgt der Laserspotdurchmesser weniger als 2 μm. Die erreichbare Auflösung des laserinterferometrischen Vibrometers liegt mit 0,1 nm im Sub-Nanometerbereich, wobei Schwingungsfrequenzen bis 2 MHz analysiert werden können. Zur Erfassung und Darstellung der Messdaten wird eine spezielle Software verwendet, die neben der Frequenzanalyse der Schwingung und der getriggerten Messwertaufnahme auch eine scriptgesteuerte Abtastung von Oberflächenstrukturen ermöglicht.
Hersteller:
SIOS Meßtechnik GmbH
98693 Ilmenau
Tel. +49 3677 644-70
Fax +49 3677 644-78
http://www.sios.de