Multitalent in neuer Auflage
Das ›MicroProf‹ ist das Erfolgsmodell aus der Messgerätefamilie der Firma Fries Research & Technology aus Bergisch Gladbach. Die neueste Generation des MicroProf ist ausgestattet mit einem größeren Verfahrbereich des Scantischs, einer höheren Scangeschwindigkeit, einer serienmäßigen Schwingungsdämpfung sowie einer produktionstauglichen Umhausung mit Bedienpult und Monitorarm. Außerdem wurde der standardmäßig eingesetzte CWL-Topografiesensor auf 4 kHz aufgerüstet. Damit werden deutlich schnellere Messzeiten bis 300 mm/s erreicht. Auch die Software zur automatischen Messung und Auswertung wurde komplett überarbeitet und bietet mehr Nutzerfreundlichkeit und neue Messoptionen. Die zusätzliche, auch nachträgliche Aufrüstung verschiedenster Multisensor-Konfigurationen ist jetzt noch leichter durchführbar. FRT liefert dazu eine große Auswahl an Punkt-, Flächen- und Schichtdickensensoren und sogar ein Rasterkraftmikroskop (AFM), um den individuellen Messbedarf der Kunden abzudecken. Das Gerät kann beim Kunden sogar nachträglich auf TTV-Messtechnik nach den gültigen SEMI-Standards aufgerüstet werden. Dabei wird ein zweiter CWL-Sensor integriert, der die zu messenden Bauteile simultan zur laufenden Messung von der Unterseite vermisst. Des Weiteren kann das Oberflächenmessgerät beim Kunden vor Ort durch ein komplettes Waferhandling-Modul zur automatischen Beladung (MHU) nachgerüstet werden.
Hersteller:
Fries Research & Technology GmbH
51429 Bergisch Gladbach
Tel. +49 2204 842430
Fax +49 2204 842431
www.frt-gmbh.com