Kompaktes Gantry-System für Laserapplikationen
Dank der hohen Präzision und Dynamik, der langen Verfahrwege sowie der kompakten Bauweise empfiehlt Steinmeyer das Gantry-System für Inspektionsanlagen in der Halbleiter- oder Optikfertigung
Gleichbleibende Qualität durch präzise Positionierung. Für Inspektionsanlagen in der Halbleiter- oder Optikfertigung hat Steinmeyer Mechatronik aus Dresden ein kompaktes Gantry-System entwickelt, das Präzision im Submikrometerbereich mit langen Verfahrwegen und hoher Dynamik kombiniert. Wie der Hersteller erklärt, ist die Lösung damit prädestiniert für Laseranwendungen.
Das Gantry ermöglicht hochdynamische Bewegungen über eine Fläche von 1.000 x 800 mm, angepasst an die Aufgabe und den verfügbaren Stellplatz. Erreicht wird eine Wiederholgenauigkeit von 0,3 µm. Somit kann ein hoher Durchsatz bei gleichbleibender Qualität erzielt werden.
In der horizontalen XY-Ebene sorgen integrierte Linearmotoren für Prozessgeschwindigkeiten von 500 mm/s, auf der vertikalen Z-Achse erzielt der AC-Servo Werte bis 200 mm/s. Der kundenspezifische Bearbeitungskopf beziehungsweise Sensor an der Z-Achse bewegt sich schnell und gleichmäßig über die Träger auf dem Granit. Die Traverse ist für Lasten bis 10 kg ausgelegt, die Höhe kann dabei je nach Anwendung und Bauteilhöhe bis 500 mm variieren. Um optimale Ablaufeigenschaften für wiederholbare Ergebnisse im Submikrometerbereich zu erreichen, sind die Profilschienenführungen direkt auf dem Granit befestigt. Der Hersteller verspricht somit µm-genaue Bahnfahrten und Nanometer-Stabilität bei der Messung.
Die Lieferung des Positioniersystems erfolgt komplett mit Gestell und abgestimmten Schwingungsisolatoren, voll vermessen und in Betrieb genommen sowie mit integrierter Sicherheitstechnik nach Maschinenrichtlinie. Die Steuerung wird individuell auf die Steuerungsarchitektur des Kunden angepasst, eine bewegungssynchrone Triggerung der kundenspezifischen Messsensorik ist möglich. Durch den Gantry-Aufbau ist eine Integration in Taktstraßen und das Anreihen mehrere solcher Portale einfach realisierbar.
Mithilfe einer zusätzlichen Verkleidung mit integrierter Absaugung beziehungsweise Umhausung erfüllt das XYZ-System die Anforderungen für die Reinraumklasse ISO 6. Darüber hinaus können weitere kundenspezifische Anpassungen vorgenommen werden, unter anderem in Bezug auf die Verfahrwege, Längenkombinationen, Verkabelung und Steuerung. Für die Inspektion komplexerer Geometrien ist eine Kombination mit Hebetischen und/oder Drehachsen möglich.
Dank der hohen Präzision und Dynamik, der langen Verfahrwege sowie der kompakten Bauweise wird das Gantry-System vom Unternehmen für Inspektionsanlagen in der Halbleiter- oder Optikfertigung empfohlen. Vor allem hochpräzise und dynamische Anwendungen, wie das Laserfügen sowie Lasermikroapplikationen in der Medizintechnik, profitieren von den genannten Eigenschaften.
Hersteller:
Steinmeyer Mechatronik GmbH
D-01259 Dresden