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Sensorik für die Halbleiterindustrie



Die eingesetzten Fertigungsverfahren ermöglichen die Herstellung von Sensoren, Aktoren und Präzisionsmechaniken mit hohen Qualitätsanforderungen

Präzisionssensoren und Aktorsysteme. Bei der Herstellung von Wafern werden präzise Sensoren eingesetzt, die prozessübergreifend Maschinenbewegungen überwachen, submikrometergenaue Optikpositionierungen ermöglichen und geometrische Messungen am Wafer ausführen. Micro-Epsilon, Ortenburg, arbeitet seit vielen Jahren mit Herstellern der Halbleiterindustrie zusammen und bietet ein Sensorportfolio, das nicht nur in Halbleiterlithographie-Maschinen, sondern über den gesamten Herstellungsprozess hinweg zum Einsatz kommt.

 

Eingesetzt wird die Hochpräzisionssensorik in zahlreichen Prozessschritten der Halbleiterindustrie wie dem Slicing, der Lagebestimmung beim Waferhandling, der Verkippungsmessung von Wafern und der Positionierung der Waferstage. Der Halbleitermaschinenbau stellt hohe Anforderungen an die eingesetzte Messtechnik, die sich unter anderem im Vakuum, bei hohen Beschleunigungen und in Magnetfeldern bewähren muss, dabei aber gleichzeitig hohe Präzision und Stabilität liefern soll.

 

Bei der Herstellung von Sensoren für derartige Anforderungen kommen entsprechende Fertigungstechnologien zum Einsatz. Daher werden alle Präzisionssensoren und Aktorsysteme in der Unternehmensgruppe produziert. Gefertigt wird unter anderem im Reinraum. Im Einsatz sind auch die Ultrakurzpuls-Lasertechnologie sowie rote und grüne Laser für hohe Genauigkeit beim Schweißen. Über Hochtemperatur-Vakuum-Lötprozesse werden hermetisch dichte Keramik-Metallverbindungen erreicht. Die Bearbeitung mechanischer Präzisionsteile erfolgt auf modernen 5-Achs-Maschinen.

 

Umfangreiche Tests sorgen dafür, dass die hohen Anforderungen an die Standzeiten der Produkte des Unternehmens über den gesamten Produktlebenszyklus sichergestellt werden. Ein vollständig blasenfreier Verguss sorgt für die Langlebigkeit der Bauteile. Zudem ermöglichen moderne Beschichtungsverfahren einen nahezu vollständigen Auftrag auf zahlreichen Oberflächen. So wird ein gleichmäßiger Auftrag auch an schwer erreichbaren Stellen wie beispielsweise Kanten oder Spalten ermöglicht.

 

Hersteller:

Micro-Epsilon Messtechnik

D-94496 Ortenburg

www.micro-epsilon.de