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11.11.2014 | MST/MEMS/MOEMS | Schott

Glaswafer mit Through Glass Vias für MEMS-Bauteile

Gasdichte Gehäusetechnologie zum zuverlässigen Schutz empfindlicher MEMS-Bauteile: MEMS-Bauteile und -Sensoren werden oft in extrem rauen Umgebungen eingesetzt, wie beispielsweise für Drucksensoren in korrosiven industriellen Produktionslinien. Dennoch müssen sie perfekt über lange Zeiträume funktionieren. Die Zuverlässigkeit und...[mehr]

01.10.2014 | MST/MEMS/MOEMS | Kyocera

Keramikgehäuse auf HTCC-Basis

Nicht-magnetische, hochtemperaturbeständige Gehäuse für mikroelektronische Bauteile: Das von Kyocera entwickelte Keramikgehäuse basiert auf der HTCC-Technologie (High Temperature Co-Fired Ceramics), die hierfür mit bestimmten nicht-magnetischen Materialien und Beschichtungsmöglichkeiten umgesetzt wird. Die neueste Lösung besitzt...[mehr]

02.11.2012 | MST/MEMS/MOEMS | STM Sensor Technologie München

Optosensoren für die Mikrofluidik

Die Detektion von transparenten Flüssigkeiten in Mikrokanälen oder Kapillaren ist allein schon wegen der gegebenen Dimensionen eine optische Herausforderung. Die geringen Unterschiede in den Brechungsindizes der beteiligten Stoffe machen die optische Erkennung besonders schwierig. Die Miniatur-Optosensoren der ›Micromote‹-Familie von STM aus...[mehr]

10.08.2012 | MST/MEMS/MOEMS | PI Ceramic GmbH

Energy Harvesting mit Piezoaktoren

Funksensoren können Anlagen auch an schwer zugänglichen Stellen überwachen und unterstützen so die Automatisierung. Dabei ist die Energieversorgung ein wichtiger Punkt. Um auf Batterien und den damit verbundenen Service-Aufwand zu verzichten, gibt es die Möglichkeit, Energie aus der Umgebung zu nutzen. Dabei greift das sogenannte Energy...[mehr]

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