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Amplitude und Phase bestimmen

Laser-Scanning-Vibrometer: Für berührungslose, hoch­auflösende Messungen von Schwingungen mikro- und makroskopischer Strukturen hat SmarAct aus Oldenburg das Vibrometer ›Picosan‹ entwickelt. Die Fähigkeit, Megapixel-Bilder von Schwingungsmoden zu erfassen, soll Entwicklern, Herstellern und Forschern dabei helfen, zum Beispiel mikroelektromechanische Systeme von hoher Komplexität zu charakterisien.

 

Während der Messung wird ein fokussierter Laserstrahl eines Michelson-Interferometers (›Picoscale‹) über die Probenoberfläche gerastert, um Schwingungen mit einer minimalen Amplitude pikometergenau und bis zu einer maximalen Frequenz von 2,5 MHz zu detektieren. Mittels eines piezobasierten Halters wird die zu vermessende Probe definiert in Schwingung versetzt. Somit ist das Vibrometer in der Lage, Amplitude und Phase an jedem Bildpunkt zu jeder Zeit eindeutig zu bestimmen. Diese Daten werden zur Rekonstruktion und Visualisierung der Schwingungs­moden heran­gezogen. Eine mögliche Anwendung stellt die Analyse des dynamischen Verhaltens von Kleinteilen dar. Eine beispielhafte Anwendung ist die Modenverteilung eines Miniaturlautsprechers für Mobiltelefone.

 

Das System hat kompakte Abmessungen und bietet Vakuum-Kompatibilität (HV/UHV). Es besteht außerdem die Möglichkeit, mit nur einer Optik gleichzeitig Vibrometrie und konfokale Lasermikroskopie zu betreiben. Eine zusätzliche Kamera, um Proben abzubilden, ist somit überflüssig. Wie der Anbieter erklärt, ist stets die Korrelation beider Datensätze gewährleistet. Die Kombination eines hochauflösenden Objektivs mit linearen Positionierern des Unternehmens bietet zusätzlich eine laterale Auflösung von 5 µm. In der Standardkonfiguration beträgt der Scanbereich 20 mm 5 20 mm. Der maximale Scanbereich lässt sich aufgrund des Angebots an unterschiedlichen Positionierern individuell anpassen.

 

Hersteller:
SmarAct GmbH
26135 Oldenburg
Opens external link in new windowwww.smaract.com