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Dreifach geringerer Wärmeeintrag

Industrietauglischer UV-Femtosekundenlaser: Coherent mit Hauptsitz in Santa Clara (USA) stellt den UV-Femtosekundenlaser ›Monaco UV‹ vor. Dieser verbindet laut Anbieter industrielle 24/7-Zuverlässigkeit mit hoher Energie und Wiederholrate sowie einer daraus resultierenden minimalen Wärmeeinflusszone (WEZ), die für das Präzisionsschneiden, Ritzen und Bohren von Halbleitermaterial mit hohem Durchsatz notwendig ist. Der Hersteller empfiehlt den Laser für das Schneiden von OLEDs, Wafern, dünnen Polymerfilmen und -folien, flexiblen Schaltungen und Low-k-Material. Während UV-Femtosekundenlaser (345 nm) bereits eine geringere WEZ als andere Ultrafast-Laser erzeugen, hat sich ihr Einsatz in der Industrie aufgrund der unzureichenden Zuverlässigkeit nur langsam durchgesetzt. Der Monaco UV profitiert im Gegensatz dazu von den strengen ›HALT/HASS‹-Design-, Herstellungs- und Testprotokollen, die auch bei anderen Ultrafast- und UV-Lasern des Unternehmens Anwendung finden. Er ist, wie der Hersteller erklärt, der erste UV-Femtosekundenlaser mit einem dreifach geringeren Wärmeeintrag in das Material bei industrieller Zuverlässigkeit.

 

Die Parameter des Monaco UV wurden so optimiert (20 μJ / Puls bei 1,25 MHz), dass sie für einen Großteil der üblicherweise zu bearbeitenden Materialien geeignet sind. Damit kann der Durchsatz bei gleichzeitig geringeren Kosten im Vergleich zu anderen Lasern optimiert werden. Der monolithisch aufgebaute Monaco UV ist laut Anbieter darüber hinaus der zurzeit kompakteste industrielle Femtosekundenlaser (L x B x H = 963 x 358 x 175 mm3), was die Integration für Systemhersteller erleichtert. Der Laser nutzt außerdem das gleiche Software-Interface wie die anderen Laser der Monaco-Familie.

 

Hersteller:
Coherent
US-Santa Clara CA 95054
Opens external link in new windowwww.coherent.com