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Experimente mit Plasma

Plasmatechnik wird immer dort eingesetzt, wo es darauf ankommt, Materialien zu verbinden oder die Oberflächeneigenschaften gezielt zu verändern. Die Firma Diener electronic aus Ebhausen hat zu Forschungszwecken eine Universal-Experimentieranlage entwickelt, die ›BellJar 35‹-Plasmaanlage. Sie dient in erster Linie wissenschaftlichen Experimenten, um verschiedene Plasmaprozesse durchzuführen und zu optimieren. Die Anlage ist sowohl für thermisches Verdampfen, Sputtern, Elektronenstrahlverdampfung und metallische Beschichtungen für REM (Raster-Elektronen-Mikroskop) zu Probenvorbereitungen als auch für klassische Plasmaprozesse geeignet. Im Kammervolumen von circa 35 Litern können optional drehbare Substrathalter (Ø 140 mm), auf Wunsch mit Substratheizung oder -kühlung sowie mit einer Elektrode speziell zur Plasmavorbehandlung (Reinigen, Aktivieren, Ätzen, Plasmapolymerisation), eingesetzt werden. Bedient wird die Bell Jar mit einer PC-Steuerung unter Windows XPE. Die Anlage hat eine Gehäuseabmessung von circa 560 (B) x 1640 (H) x 620 (T) mm und ist mit allen Optionen von Standard-Plasmaanlagen erhältlich. Diener electronic übernimmt vor Ort die Installation und Schulung.

 

Hersteller:
Diener electronic GmbH + Co. KG
72224 Ebhausen
Tel. +49 7458 99931-0
Fax +49 7458 99931-50
www.plasma.de