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Scantisch zum Abrastern großer Wafer

Harte Fakten zur alternativen Lagerung: Steinmeyer Mechatronik, Dresden, stellt den neue Scantisch ›KT600-edlm‹ vor. Dieser erreicht mittels Kompensation Genauigkeiten, die bisher ausschließlich Luftlagersystemen vorbehalten waren, ist jedoch bei vergleichbarer Performance kostengünstiger. Nach Angaben des Unternehmens ist der KT600 in seiner Genauigkeitsklasse derzeit der größte klassische XY-Scantisch am Markt. Der Hersteller bietet den Scantisch KT600-edlm ergänzend zum Kreuz-Durchleuchttisch ›KDT600-edlm‹ an. Der neue Tisch in geschlossener Variante bietet größere Verfahrwege und bessere Ablauf­werte. Mit seinem Hub von 450 mm gestattet der KT600-edlm auch das Abrastern sehr großer Wafer und Substrate in X- und Y-Richtung. Da er wie der KDT600 über ein trenn­bares Kabelterminal verfügt, gehen Montage und Integration einfach vonstatten.

 

Wie das Unternehmen erklärt, erreicht der Kreuztisch eine hohe Wiederholgenauigkeit in Geradheit, Ebenheit und Positionierung von ±0,25 µm und bietet damit die Grund­lage für hochgenaue Messaufbauten. Um dies zu erreichen, verwendet Steinmeyer bei der Konstruktion polierte Kreuzrollenführungen und eisenlose Linearmotoren. Diese garantieren einen feinfühligen Antrieb ohne störenden Einfluss auf die Ablaufparameter. Gleichzeitig sorgt der Linearantrieb für eine hohe Dynamik. Die erreichbaren hohen Beschleunigungen von bis zu 5 m/s2 und Spitzengeschwindigkeiten von 330 mm/s prädestinieren das Positioniersystem für schnelle Scananwendungen und dynamische Bahnfahrten.

 

Da die Motoren in X- und Y-Richtung auf unterschiedliche bewegte Massen abgestimmt sind, ergibt sich ein homogenes Verhalten. Der Scantisch verhält sich also in beiden Achsen gleich. Um maximale Beschleunigungen zu erzielen und damit noch schneller scannen zu können, lassen sich beide Achsen des KT600-edlm auch gleich motorisieren. Typische Einsatzbereiche des neuen Scantischs sind die Halbleiterinspektion, die Messtechnik sowie alle Felder, in denen typischerweise Luftlagertische verwendet werden.

 

 

Hersteller:
Steinmeyer Mechatronik GmbH
01259 Dresden
Opens external link in new windowwww.steinmeyer-mechatronik.de