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Mikrostruktur- und Halbleitertechnik


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Lasertechnik zur Herstellung von µLEDs

MicroLED, auch mLED oder µLED genannt, ist eine neue Bildschirmtechnologie auf Basis von...

 

Waferfab geht an den Start

Bosch hat im Juni 2021 sein neues Halbleiterwerk in Dresden eröffnet. Mit der neuen Waferfab...

 
 

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08.03.2020 | Mikrostrukturtechnik | Heidelberg Instruments Mikrotechnik

Maskenlose Lithografie: digital und dynamisch

Mithilfe der direktschreibenden Lithografie lassen sich Mikro- und Nano­strukturen erzeugen. Dabei wird ein digitales Layout durch einen spezifischen Prozess in Mikrostrukturen auf ein Substrat übertragen, wobei keine Fotomaske benötigt wird.

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25.02.2020 | Lasermikrobearbeitung | BIAS

Der Laser erhöht die Leitfähigkeit

Mithilfe von laserbasiertem Sintern kann die elektrische Leitfähigkeit bei temperatursensiblen Substraten erhöht werden. Vorteil ist neben dem präzisen, lokalen Energieeintrag eine hohe Gestaltungsfreiheit.

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11.12.2019 | Messtechnik | NanoFocus

Fehlerfrei von der Struktur bis zum Stack

In Brennstoffzellen kann bereits eine einzelne fehlerhafte Komponente zum Systemausfall führen. Anhand vollflächiger 3D-Scans lassen sich die Mikrostrukturen fertigungsnah und hochgenau kontrollieren.

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