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Produkte der Halbleiterindustrie und Mikrostrukturtechnik werden in komplexen Fertigungsprozessen in isolierter Umgebung hergestellt. Um die Bearbeitungsschritte zu verketten, sind automatisierte HANDLINGSYSTEME erforderlich, die unter kritischen Umgebungsbedingungen ein hohes Maß an Prozesssicherheit gewährleisten.
Von Herbert Wituschek | Arthur Hügler
Erschienen in Mikroproduktion 01/2010, Seite 39-41
Direct Link: http://www.mikroproduktion.com/directlink.asp?MI110066
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Bereitstellungssysteme für die Mikrofertigung [471 KB]
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