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Die Laserlithografie fotosensitiver Materialien ist bisher auf 2D- oder 2,5D-Strukturen beschränkt. Mithilfe einer hochgenauen Positionierung im Nanometerbereich lassen sich mit dem Verfahren erstmals auch sehr komplexe 3D-MIKRO- UND NANOSTRUKTUREN herstellen.
Von Ellen-Christine Reiff | Steffen Arnold
Erschienen in Mikroproduktion 01/2009, Seite 32-34
Direct Link: http://www.mikroproduktion.com/directlink.asp?MI110010
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3D-Strukturierung mit Laserlicht [797 KB]
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