Wafertransport sicher und sauber
Reinraumtaugliche 6-Achs-Roboter: Die Verpackung von Wafern in Front Opening Shipping Boxen (FOSB) ist ein aufwendiger Prozess, der unter Reinraumbedingungen stattfinden muss. Um menschliche Eingriffe dabei gänzlich zu vermeiden, hat der Sondermaschinenbauer cts aus Burgkirchen eine vollautomatische Lösung entwickelt.
Die Roboterzelle mit zwei rein raumtauglichen 6-Achs-Robotern ersetzt den zum Teil immer noch in Handarbeit aus geführten Verpackungsvorgang
Das ›AutoBaggingTool‹, kurz ABT, ist eine komplexe Roboterzelle mit zwei reinraumtauglichen 6-Achs- Robotern von Stäubli aus Pfäffikon in der Schweiz, die vollautomatisch die komplette Bag-in-Bag-Verpackung der mit Wafern bestückten FOSB-Behälter übernimmt. Diese Lösung ersetzt den zum Teil immer noch in Handarbeit ausgeführten Verpackungsvorgang (Bild). Die manuelle Verpackung der bis zu 10 kg schweren FOSB gehört zu den körperlich sehr anstrengenden Tätigkeiten. Die Beschäftigten müssen zunächst den korrekten Sitz der Wafer in der Box überprüfen, danach kontrollieren, ob die diversen Anbauteile am FOSB richtig montiert wurden, und zu guter Letzt die schwierige Verpackung mit innerem und äußerem Beutel erledigen – das alles unter Reinraumbedingungen und in Cleanroom-Anzügen. […]
Hersteller:
Stäubli International AG
CH-8808 Pfäffikon
www.staubli.com
cts GmbH
D-84508 Burgkirchen
www.group-cts.de