Die Physik als Reinigungshelfer
Die Mikroelektronikindustrie kann ihren ökologischen Fußabdruck mithilfe einer neuen umweltfreundlichen Reinigungstechnologie verbessern. Leicht biologisch abbaubare Inhaltsstoffe werden zu Flüssigkeiten kombiniert, die Verunreinigungen sanft und effektiv entfernen.
In sensiblen Branchen sind bereits während des Produktionsprozesses zahlreiche Reinigungsschritte erforderlich, wie hier in der Halbleiterindustrie
Der weltweite Umsatz der Halbleiterindustrie betrug im Jahr 2023 etwa 500 Milliarden Euro. So erfreulich die hohen Umsatzzahlen für die Industrie auch sind, bringen sie gleichzeitig erhebliche Umweltauswirkungen mit sich. Um diese zu reduzieren, wird weltweit nach Lösungen gesucht, welche die Branche grüner machen. Ein oft übersehenes Potenzial liegt dabei in einer grünen Transformation der Reinigungsprozesse.
Die Reinigung ist ein unverzichtbarer Prozess in der Mikroelektronikindustrie. Dabei ist, mehr als in jeder anderen Branche, höchste Präzision gefragt. Mikrochips bestehen auch aus winzigen Transistoren, die nur einige Dutzend Nanometer groß sind. Damit diese Mikrobauteile zuverlässig funktionieren, sind während der Produktion zahlreiche Reinigungsschritte erforderlich (Bild 1). Bereits geringste Oberflächenverschmutzungen können bekanntlich die Leistung der elektronischen Endprodukte beeinträchtigen und zu Defekten führen. Der Produktionsprozess eines Chips, der beispielsweise in einen Computer eingebaut wird, umfasst eine lange Kette von bis zu 500 Verarbeitungsschritten, von denen viele im Nanometerbereich stattfinden. Zwischen diesen Schritten muss immer wieder ein spezieller Fotolack entfernt werden (Bild 2). […]
Hersteller:
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