Analysiert und charakterisiert
Für die Lokalisierung von Fehlern und die elektrische Charakterisierung von Nanomaterialien steht ein neues Bewegungssystem zur Verfügung, das ein automatisiertes Kontaktieren und Manipulieren erlaubt.
Mit dem ›Smarprobe Nanoprober‹ ist ein großflächiges Probing auf vollen 30 x 30 mm² möglich
Der anhaltende Miniaturisierungstrend verschiedenster Technologien brachte und bringt die Entwicklung neuer Materialien mit immer komplexeren Strukturen hervor, die auch mit komplexeren Defekten einhergehen. Hohe Integrationsdichten sorgen gleichzeitig dafür, dass die Lokalisierung dieser Fehler immer schwieriger wird. Solche High-End-Anwendungen innerhalb von Elektronenmikroskopen, aber auch einfachere Lichtmikroskop-Anwendungen erfordern zuverlässiges Hochpräzisionsequipment zur Fehleranalyse und elektrischen Charakterisierung.
Mit dem ›Smarprobe Nanoprober‹ will SmarAct Metrology aus Oldenburg neue Maßstäbe setzen, wenn es um die Fehleranalyse von Halbleiterchips und die elektrische Charakterisierung von Nanomaterialien geht. Wie der Hersteller erklärt, ermöglicht das neuartige Closed-Loop-Bewegungssystem ein automatisiertes sowie zuverlässiges Kontaktieren und Manipulieren im Nanometerbereich. Das Unternehmen bietet mit dem Nanoprober speziell darauf ausgerichtete Komplettlösungen – angefangen mit dem ›Smarprobe Etch‹ zur Herstellung von Wolframspitzen mit einem kleinsten Spitzenradius von 8 nm bis hin zur Integration des neu entwickelten ›Smarprobe Probers‹, welcher direkt in ein bestehendes Mikroskop beim Anwender vor Ort eingesetzt werden kann. […]
HERSTELLER
SmarAct Metrology GmbH & Co. KG
D-26135 Oldenburg
Tel. +49 441 8008790