Mit Retrofit zur nächsten Reinheitsklasse
Während Reinräume etabliert sind, wird der Prozessraum innerhalb geschlossener Maschinen oft vernachlässigt. Die Nachrüstung mit Lüfter-Filter-Modulen (FFU) bietet zwar eine pragmatische Lösung, stößt aber auch an konstruktive Grenzen.
Lüfter-Filter-Modul mit Vorfilter an der Rückseite des Druckers. Hier strömt die Luft horizontal
Dass die Forderungen nach immer saubereren Fertigungsumgebungen immer mehr zunehmen, ist inzwischen offenkundig. Bislang konzentrierten sich die Bemühungen um eine höhere Reinheit vordergründig auf das Frontend der Halbleiterindustrie. Nur zögerlich werden Fertigungslinien im Backend mit Reinheitslösungen nach- oder auch ausgerüstet. Meist ist es eine Nachrüstung, mit der man sich auseinandersetzen muss. Dabei legt in der Regel der Maschinenbauer die Aufstellbedingungen für das Equipment fest. Dies betrifft nicht nur die Temperatur- und gegebenenfalls Feuchtetoleranzen, sondern auch die Frage, ob die Maschine in einem Reinraum aufgestellt werden sollte.
Geschlossene Maschinen im Reinraum
Leider wird ein logischer Aspekt außer Acht gelassen. Aus arbeitsschutzrelevanten Gründen muss die Maschine geschlossen sein, um einen unbedachten Eingriff des Bedieners zu verhindern und damit dessen Unversehrtheit zu schützen. Dies ist richtig und wichtig, doch mit dem Schließen der Maschine während des Betriebs ist der Prozessraum auch vor der sauberen Reinraumumgebung ›geschützt‹. Zugleich ist klar, dass die höchste Reinheit am Produkt und im Prozess realisiert werden sollte. Das Problem wird dem Anwender zugeschoben, der sich leider sehr oft allein gelassen fühlt.
Es gibt bereits eine ganze Reihe von Lösungen mit unterschiedlicher Effizienz. Die Lösung, ein Lüfter-Filter-Modul auf die Maschine aufzusetzen, führt nicht immer zum Ziel und ist in manchen Fällen sogar kontraproduktiv. Im Folgenden ein paar Beispiele, welche Fehler dabei auftreten können:
- Das Modul ist nicht entsprechend dem mit Reinstluft zu versorgenden Volumen ausgewählt. Es wird ein zu geringer Volumenstrom zur Verfügung gestellt, der keine ausreichenden Verdünnungseffekte erzeugt. Auch sollte die Filterfläche groß gewählt werden, um den fehlenden Volumenstrom nicht mit einer höheren Luftgeschwindigkeit ausgleichen zu müssen. Diese hohe Luftgeschwindigkeit ist problematisch bei sehr kleinen zu montierenden Bauteilen. [...]
Hersteller:
COLANDIS GmbH
D-07768 Kahla
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