Wafer platzsparend lagern
Auf einer Fläche von weniger als 14 qm können mithilfe der neuen Lösung über 800 Waferboxen bedarfsgerecht ein- und ausgelagert werden
Kompakter Speicherroboter für die Halbleiterindustrie. Die Entwicklung und Konstruktion von Intralogistiklösungen für Reinräume ist eine anspruchsvolle Aufgabe, insbesondere wenn es um die effiziente Raumnutzung geht. Die zur SCIO-Gruppe gehörende Schiller Cleanroom Intralogistics (SCI) aus Osterhofen hat in Zusammenarbeit mit Unternehmen aus der Halbleiterindustrie einen hochkompakten Speicherroboter für die Waferproduktion entwickelt.
Durch den durchdachten konstruktiven Aufbau, das spezielle Innenraumdesign der Regale sowie die exakte Positionierung des Handlers werden die zur Verfügung stehenden Flächen und die Raumhöhe optimal ausgenutzt, so der Hersteller. Dank des leistungsfähigen Greifersystems ist es außerdem möglich, die Behälter doppeltief zu lagern, was für zusätzliche Platzersparnis sorgt. Auf einer Fläche von weniger als 14 qm können so über 800 Waferboxen bedarfsgerecht ein- und ausgelagert werden. Wie das Unternehmen erklärt, gewährleisten die SCI-Fördersysteme im Anschluss einen reibungslosen Transport der Wafer zu den entsprechenden Produktionsbereichen im Reinraum.
Im klassischen Betrieb würden vergleichbare Mengen an Wafern über 38 % mehr Platz benötigen. Da Platz beziehungsweise Raum in den hochsauberen Reinräumen der Halbleiterindustrie ein teures Gut ist, arbeitet die SCI seit ihrer Gründung in 2009 mit Kunden aus der Halbleiterindustrie an Lösungen, um die Flächen im Reinraum noch produktiver nutzen zu können.
Automatisierte Lagerhaltungssysteme bieten für die Halbleiter-Herstellung darüber hinaus weitere Vorteile, die zur Optimierung der Lagerprozesse beitragen: präzise Lagerdatenverfügbarkeit, schnelle Zugriffszeiten, materialschonendes und partikelarmes Handling sowie die Erhaltung eines konstanten Laminar Flow für gleichbleibende Luftqualität.
Schiller Automatisierungstechnik GmbH
D-94486 Osterhofen