In der Halbleiterindustrie entscheiden oft Bruchteile eines Mikrometers über Qualität und Ausbeute. Daher werden in zahlreichen Fertigungsstufen…
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Besonders in der Elektronenstrahllithografie geraten polymerbasierte Resists an ihre physikalischen Grenzen. Neue Materialien auf Basis von…
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Ein neuer Regler erfasst das Systemverhalten in Echtzeit, kompensiert Störungen und sorgt bei anspruchsvollen Positionieraufgaben für eine höhere…
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Bund und Freistaat Thüringen unterstützen Schlüsselprojekt für Zukunft des Mikroelektronikstandorts Thüringen mit 127,4 Millionen Euro
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Die nanosystec GmbH gibt ihren Umzug innerhalb von Gross-Umstadt bekannt. Mit den neuen Räumlichkeiten in der Landwehr 12 setzt das Unternehmen auf…
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Multimeter überzeugte die Fachjury: Auf der diesjährigen Messe Sensor+Test in Nürnberg hat der AMA Verband für Sensorik und Messtechnik (AMA) Dr.…
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Mehr Durchsatz im Cluster: Das Chemnitzer Unternehmen Scia Systems stellt die modulare Plattform ›Cluster 200‹ für Beschichtungs-, Ätz- und…
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Ionenstrahl- und Plasmatechnologien: Das Chemnitzer Unternehmen Scia Systems, Spezialist für hochgenaue, komplexe Ionenstrahl- und…
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Auf der Photonics West hat Nanoscribe aus Eggenstein-Leopoldshafen einen Fotolack vorgestellt, der speziell für hochpräzise Mikrooptiken entwickelt…
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Multi-Beam-Laser-Dicing-Plattform: »Siliziumkarbid (SiC) ist mit seinen überlegenen elektrischen und thermischen Eigenschaften ein unverzichtbares…
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