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Kontaminationsfreier Transport im Vakuum

Das Handling im Vakuum ist oft eine wenig beachtete, aber dennoch heikle Aufgabe. Um Substrate ins Vakuum einzuschleusen und durch Gate-Ventile zu mehreren Prozessstationen zu bringen, steht jetzt ein planares Vakuumtransportsystem zur Verfügung. Seit der Formulierung des Mooreschen Gesetzes im Jahre 1965 hat sich die Zahl der Transistoren eines…[mehr]

Der ultimative Messtisch

Ein neuer Kreuztisch sorgt für eine lastunabhängige Genauigkeit von ±1 µm und ermöglicht so den Bau kompakter Tischmessgeräte, die neben der Kontur und Oberfläche auch die Geometrie von Teilen vermessen können.

Große ›Bühne‹ für die Wafer-Inspektion

Die Wafer-Inspektion verlangt von den Positioniersystemen eine sehr hohe Dynamik und Präzision. Eine Multi-Achs-Plattform stellt sich diesen Anforderungen und fungiert gleichzeitig als Demonstrator für weitere Applikationen.

Ultrakurze Laserpulse für planare Ultraschallmotoren

Bei der Entwicklung einer neuen Generation von Ultraschallmotoren leisten Ultrakurzpulslaser einen wichtigen Beitrag. So muss bei der Strukturierung der halbkugelförmigen Piezo-Resonatoren die Trennung der elektrischen Kontakte scharfkantig und ohne Beschädigung des Grundmaterials erfolgen.

Antriebskraft mit Wankel-Mut

Auf der Kongressmesse Actuator in Bremen wurde ein neuer piezoelektrischer Rotationsmotor vorgestellt. Mithilfe des Deformationswellen-Prinzips können bei geringem Energiebedarf kleinste Schrittweiten realisiert werden.

Automatische Montage mikrooptischer Komponenten

Mit der zunehmenden Miniaturisierung steigen bei der Herstellung mikrooptischer

Bauteile die Anforderungen an den Arbeitsraum, in welchem immer mehr Komponenten

unter zubringen sind. Die engen Platzverhältnisse erfordern eine GREIFTECHNIK,

die die Teile nicht beschädigt und ein exaktes Positionieren zulässt.

Schweben in sechs Freiheitsgraden

Aufgrund von Unebenheiten oder dem mechanischen Spiel der Führungen stößt das Nanopositionieren oft an seine Grenzen. Mit einem System, dessen magnetisch gelagerter Tisch frei schwebt, lassen sich sogar sechs Freiheitsgrade beherrschen. Vorgestellt wird das System auf der Kongressmesse Actuator in Bremen.

Kleinere Baugrößen für spielfreie Mikrogetriebe

Dank optimierter Fertigungsprozesse wurde die Baugröße spielfreier und leistungsfähiger Mikropositioniergetriebe weiter minimiert, mittlerweile stehen sie im Außendurchmesser von 6 mm zur Verfügung. Damit kann der Bedarf neuartiger Anwendungen mit besonderen Anforderungen an Baugröße, Gewicht und DYNAMIK gedeckt werden.

Trägheitsräder stabilisieren Nanosatelliten

Um Anwendungsmöglichkeiten für Nanosatelliten zu erforschen und deren Neigungsregelung zu verbessern, werden bürstenlose DC-MOTOREN eingesetzt. Diese überstehen starke Vibrationen und Stöße sowie eine hohe thermische Zyklusbelastung und Strahlung.

Wenn andere Messmethoden versagen

Wie lässt sich die Qualität kleinster Planetenräder für Mikro-Antriebssysteme sichern? Möglich macht dies die Kombination aus einem Multisensor-Koordinatenmess gerät, einem FASERTASTER sowie einer speziellen Software – wodurch selbst in den Zahnflanken im Scanningmodus normenkonform und hochgenau gemessen werden kann.