Mit digitalem Encoder aus der Trägheitsfalle
Die neuentwickelte digitale Encoder-Technologie von Scanlab verspricht die Aufhebung bisheriger Einschränkungen in der Dynamik
Neue Möglichkeiten in der Mikrobearbeitung: Digitale Encodersysteme erlauben höchste Präzision für die Laserbearbeitung. Die neuentwickelte digitale Encoder-Technologie von Scanlab verspricht dabei die Aufhebung bisheriger Einschränkungen in der Dynamik. Die digitale Positionsdetektion verringert die Trägheitsmomente der Antriebe für die hochpräzise Halbleiterbearbeitung oder Mikrostrukturierung und wird bereits in den Galvanometer-Scanner-Einheiten ›dynAXISse‹ ebenso wie in den leistungsfähigen 2D-Scan-Systemen ›intelliSCANse‹ eingesetzt.
In Laser-Bearbeitungssystemen werden Galvanometer-Scanner als hochdynamische Antriebe für die genaue Positionierung des Lasers auf dem Werkstück genutzt. Mit Hilfe der auf den Galvanometern angebrachten Spiegel wird der Laserstrahl für die jeweilige Anwendung präzise geführt. Kernkomponenten sind der Galvo-Motor, basierend auf Moving-Magnet-Technologie, sowie ein Positionsdetektor. Bisher wurde in digitalen Positionsdetektoren eine mit dem Scanner-Rotor verbundene Encoderscheibe zur Erfassung einer Strichcodierung eingesetzt. Diese ›klassische‹ Encoder-Technologie hat jedoch Grenzen die Dynamik betreffend, da zur Messung (relativ) große träge Massen bewegt werden müssen. Beim se-Encoder tastet ein masseloser Laserstrahl, wie der Zeiger einer Uhr, auf kleinstem Raum, eine feststehende Skala ab. Dabei sind keine weiteren Teile, die die Trägheit erhöhen, mehr notwendig.
Mit der neuen Sensorik ist es gelungen, die Schnelligkeit eines analogen Systems mit der Präzision von digitalen Steuerungen zu verbinden. Die Vorteile der digitalen Encoder-Technologie kommen besonders bei industriellen Anwendungen im Bereich Elektronik- und Displaybearbeitung, Halbleiterbelichtung und Mikrostrukturierung zum Tragen.
Versehen mit Beryllium-Leichtgewichtspiegeln und einer 14-mm-Apertur handelt es sich nach Herstellerangaben derzeit um das weltweit schnellste Encodersystem auf dem Markt. Die hohe Präzision lässt sich auch an dem geringen Positionsrauschen (Dither) und den stabilen Langzeitdriftwerten, mit nur geringer Reaktion auf Temperaturschwankungen, ablesen. Somit können höchste Anforderungen an die Genauigkeit erfüllt und feinste Bearbeitungsschritte, wie bei der Mikrostrukturierung oder Erstellung von ›VIA holes‹, durchgeführt werden.
Hersteller:
SCANLAB AG
82178 Puchheim
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